本文關(guān)鍵詞：福建物構(gòu)所金屬-有機框架薄膜的組裝及性能研究取得新進展

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【摘要】：正開發(fā)和研究具有高介電常數(shù)、低漏流和高擊穿電壓的功能器件對柵極介電薄膜材料和高電子傳輸二極管等電子器件材料具有重要的意義。當前,大部分柵極介電薄膜材料都是基于傳統(tǒng)的硅基電子元件材料。然而,傳統(tǒng)的硅基材料在實際應用中常常會面臨高介電損耗以及由于厚度引起的隧穿效應等問題。為此,開發(fā)高介電常數(shù)薄膜材料有利于增加柵極
【關(guān)鍵詞】： 薄膜材料;隧穿效應;硅基材料;高介電常數(shù);功能器件;擊穿電壓;器件材料;電子傳輸;介電損耗;無機氧化物;
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 開發(fā)和研究具有高介電常數(shù)、低漏流和高擊穿電壓的功能器件對柵極介電薄膜材料和高電子傳輸二極管等電子器件材料具有重要的意義。當前,大部分柵極介電薄膜材料都是基于傳統(tǒng)的硅基電子元件材料。然而,傳統(tǒng)的硅基材料在實際應用中常常會面臨高介電損耗以及由于厚度引起的隧穿效

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4 蔡s，

本文編號：815204