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福建物構(gòu)所金屬-有機(jī)框架薄膜的組裝及性能研究取得新進(jìn)展

發(fā)布時間:2017-09-08 17:00

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【摘要】:正開發(fā)和研究具有高介電常數(shù)、低漏流和高擊穿電壓的功能器件對柵極介電薄膜材料和高電子傳輸二極管等電子器件材料具有重要的意義。當(dāng)前,大部分柵極介電薄膜材料都是基于傳統(tǒng)的硅基電子元件材料。然而,傳統(tǒng)的硅基材料在實(shí)際應(yīng)用中常常會面臨高介電損耗以及由于厚度引起的隧穿效應(yīng)等問題。為此,開發(fā)高介電常數(shù)薄膜材料有利于增加?xùn)艠O
【關(guān)鍵詞】薄膜材料;隧穿效應(yīng);硅基材料;高介電常數(shù);功能器件;擊穿電壓;器件材料;電子傳輸;介電損耗;無機(jī)氧化物;
【分類號】:TB383.2
【正文快照】: 開發(fā)和研究具有高介電常數(shù)、低漏流和高擊穿電壓的功能器件對柵極介電薄膜材料和高電子傳輸二極管等電子器件材料具有重要的意義。當(dāng)前,大部分柵極介電薄膜材料都是基于傳統(tǒng)的硅基電子元件材料。然而,傳統(tǒng)的硅基材料在實(shí)際應(yīng)用中常常會面臨高介電損耗以及由于厚度引起的隧穿效

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5 胡江川,王萬錄,馬平,陳松林;幾種紫外薄膜材料的閾值場強(qiáng)分析[J];重慶大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2005年08期

6 史芳;賴欣;崔春華;何見超;畢劍;高道江;;功能薄膜材料的環(huán)境協(xié)調(diào)性制備技術(shù)研究進(jìn)展[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2006年09期

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8 葉志鎮(zhèn);張銀珠;黃靖云;汪雷;;以科研促進(jìn)《薄膜材料技術(shù)與物理》專業(yè)課程的教學(xué)改革[J];材料科學(xué)與工程學(xué)報;2010年03期

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10 ;薄膜材料[J];金屬功能材料;2013年01期

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2 劉維民;翁立軍;薛群基;;空間潤滑薄膜材料與技術(shù)[A];第六屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議論文集[C];2006年

3 劉書田;許衛(wèi)凱;董炎章;;左手薄膜材料的設(shè)計優(yōu)化[A];第十五屆全國復(fù)合材料學(xué)術(shù)會議論文集(上冊)[C];2008年

4 蔡s,

本文編號:815204


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