本文關(guān)鍵詞：潔凈真空系統(tǒng)中污染物擴散沉降規(guī)律研究

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【摘要】：真空系統(tǒng)中的污染物質(zhì)在一定條件下會在真空中釋放,經(jīng)擴散,吸附、沉降到真空室、光學(xué)元件等表面,導(dǎo)致系統(tǒng)污染、元件性能下降和其他一些負面影響,并致使整個真空系統(tǒng)中不同位置的污染程度不同。為保護關(guān)鍵元件不受污染,需要研究真空系統(tǒng)運行過程中污染物在空間中的分布情況。本課題研究對需要潔凈真空環(huán)境的研究和應(yīng)用具有重要價值。論文首先進行模擬研究。根據(jù)真空中污染物擴散沉降運動的理論基礎(chǔ),建立靜態(tài)真空和動態(tài)真空下的自由分子流的數(shù)學(xué)模型,分別進行模擬。對靜態(tài)真空條件下不同污染源飽和蒸汽壓、污染源形狀及污染源位置進行模擬。結(jié)果表明,污染源位置的影響最大,越靠近污染源的污染物最多；污染源形狀對污染物擴散分布有一定影響;污染源飽和蒸汽壓對空間相對分布沒有太大影響；高真空下的分子態(tài)氣體污染物重力引起的沉降作用對污染物擴散分布的影響較小。對動態(tài)真空條件下不同真空泵抽速、污染源位置及抽氣口位置進行模擬。結(jié)果表明,污染源位置的影響很大,空間中越靠近污染源的位置污染物越多；真空泵抽速對污染物分布有影響,抽速越大,抽氣口附近的污染物分子減小越多：抽氣口位置對污染物分布有影響,距離真空泵抽氣口最近的位置受抽氣影響最大,其分子數(shù)密度下降最多。實驗研究在動態(tài)真空環(huán)境下進行。結(jié)果表明,污染源位置起主要作用,越靠近污染源的位置污染物越多；真空泵抽速和抽氣口位置也對污染物分布有較大的影響。實驗研究結(jié)果與模擬研究結(jié)果有較好的一致性。本論文建立了一種對真空系統(tǒng)中污染物擴散分布的有效分析方法,令真空艙中抽象的污染物分布情況可視化,更直觀地體現(xiàn)空間不同位置的污染物濃度,對潔凈真空下污染物分布研究具有指導(dǎo)意義,為污染物控制的實際應(yīng)用提供了研究方向。
【關(guān)鍵詞】：潔凈真空 污染物 擴散 模擬
【學(xué)位授予單位】：東南大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TB79
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 第一章 緒論8-13
• 1.1 引言8
• 1.2 潔凈真空系統(tǒng)中的污染物概述8-11
• 1.2.1 潔凈真空系統(tǒng)中污染物的來源8-10
• 1.2.2 潔凈真空系統(tǒng)中污染物的影響10-11
• 1.3 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀11
• 1.4 課題研究的意義11-12
• 1.5 課題研究思路及主要內(nèi)容12-13
• 第二章 潔凈真空系統(tǒng)中污染物擴散沉降規(guī)律的理論基礎(chǔ)13-25
• 2.1 稀薄氣體狀態(tài)的判別13-14
• 2.2 高真空系統(tǒng)中氣體運動分布狀態(tài)及影響因素14-25
• 2.2.1 稀薄氣體運動基本理論14-19
• 2.2.2 平衡態(tài)19-20
• 2.2.3 非平衡態(tài)20-22
• 2.2.4 氣體分子和壁面的相互作用22-24
• 2.2.5 影響因素24-25
• 第三章 真空中污染物擴散沉降過程的二維模擬研究25-45
• 3.1 理論模型的建立25-27
• 3.1.1 研究對象的介紹25
• 3.1.2 真空環(huán)境下自由分子運動的數(shù)學(xué)模型25-27
• 3.1.3 仿真軟件簡介27
• 3.2 靜態(tài)真空條件下的污染物擴散沉降模擬27-37
• 3.2.1 靜態(tài)真空狀態(tài)分析27
• 3.2.2 數(shù)學(xué)模型和邊界條件27-28
• 3.2.3 模擬內(nèi)容28-36
• 3.2.4 小結(jié)36-37
• 3.3 動態(tài)真空條件下的污染物擴散沉降模擬37-45
• 3.3.1 動態(tài)真空狀態(tài)分析37
• 3.3.2 數(shù)學(xué)模型和邊界條件37
• 3.3.3 模擬內(nèi)容37-44
• 3.3.4 小結(jié)44-45
• 第四章 真空系統(tǒng)中污染物擴散沉降過程的實驗研究45-48
• 4.1 實驗方案45
• 4.2 真空系統(tǒng)污染物采集實驗裝置45-46
• 4.3 真空系統(tǒng)污染物擴散分布實驗結(jié)果與分析46-47
• 4.4 本章小結(jié)47-48
• 第五章 總結(jié)與展望48-50
• 5.1 總結(jié)48-49
• 5.2 展望49-50
• 致謝50-52
• 參考文獻52-54
• 作者簡介54

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本文編號：529883