本文關(guān)鍵詞：潔凈真空系統(tǒng)中污染物擴(kuò)散沉降規(guī)律研究

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【摘要】：真空系統(tǒng)中的污染物質(zhì)在一定條件下會(huì)在真空中釋放,經(jīng)擴(kuò)散,吸附、沉降到真空室、光學(xué)元件等表面,導(dǎo)致系統(tǒng)污染、元件性能下降和其他一些負(fù)面影響,并致使整個(gè)真空系統(tǒng)中不同位置的污染程度不同。為保護(hù)關(guān)鍵元件不受污染,需要研究真空系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程中污染物在空間中的分布情況。本課題研究對(duì)需要潔凈真空環(huán)境的研究和應(yīng)用具有重要價(jià)值。論文首先進(jìn)行模擬研究。根據(jù)真空中污染物擴(kuò)散沉降運(yùn)動(dòng)的理論基礎(chǔ),建立靜態(tài)真空和動(dòng)態(tài)真空下的自由分子流的數(shù)學(xué)模型,分別進(jìn)行模擬。對(duì)靜態(tài)真空條件下不同污染源飽和蒸汽壓、污染源形狀及污染源位置進(jìn)行模擬。結(jié)果表明,污染源位置的影響最大,越靠近污染源的污染物最多；污染源形狀對(duì)污染物擴(kuò)散分布有一定影響;污染源飽和蒸汽壓對(duì)空間相對(duì)分布沒(méi)有太大影響；高真空下的分子態(tài)氣體污染物重力引起的沉降作用對(duì)污染物擴(kuò)散分布的影響較小。對(duì)動(dòng)態(tài)真空條件下不同真空泵抽速、污染源位置及抽氣口位置進(jìn)行模擬。結(jié)果表明,污染源位置的影響很大,空間中越靠近污染源的位置污染物越多；真空泵抽速對(duì)污染物分布有影響,抽速越大,抽氣口附近的污染物分子減小越多：抽氣口位置對(duì)污染物分布有影響,距離真空泵抽氣口最近的位置受抽氣影響最大,其分子數(shù)密度下降最多。實(shí)驗(yàn)研究在動(dòng)態(tài)真空環(huán)境下進(jìn)行。結(jié)果表明,污染源位置起主要作用,越靠近污染源的位置污染物越多；真空泵抽速和抽氣口位置也對(duì)污染物分布有較大的影響。實(shí)驗(yàn)研究結(jié)果與模擬研究結(jié)果有較好的一致性。本論文建立了一種對(duì)真空系統(tǒng)中污染物擴(kuò)散分布的有效分析方法,令真空艙中抽象的污染物分布情況可視化,更直觀地體現(xiàn)空間不同位置的污染物濃度,對(duì)潔凈真空下污染物分布研究具有指導(dǎo)意義,為污染物控制的實(shí)際應(yīng)用提供了研究方向。
【關(guān)鍵詞】：潔凈真空 污染物 擴(kuò)散 模擬
【學(xué)位授予單位】：東南大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TB79
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 第一章 緒論8-13
• 1.1 引言8
• 1.2 潔凈真空系統(tǒng)中的污染物概述8-11
• 1.2.1 潔凈真空系統(tǒng)中污染物的來(lái)源8-10
• 1.2.2 潔凈真空系統(tǒng)中污染物的影響10-11
• 1.3 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀11
• 1.4 課題研究的意義11-12
• 1.5 課題研究思路及主要內(nèi)容12-13
• 第二章 潔凈真空系統(tǒng)中污染物擴(kuò)散沉降規(guī)律的理論基礎(chǔ)13-25
• 2.1 稀薄氣體狀態(tài)的判別13-14
• 2.2 高真空系統(tǒng)中氣體運(yùn)動(dòng)分布狀態(tài)及影響因素14-25
• 2.2.1 稀薄氣體運(yùn)動(dòng)基本理論14-19
• 2.2.2 平衡態(tài)19-20
• 2.2.3 非平衡態(tài)20-22
• 2.2.4 氣體分子和壁面的相互作用22-24
• 2.2.5 影響因素24-25
• 第三章 真空中污染物擴(kuò)散沉降過(guò)程的二維模擬研究25-45
• 3.1 理論模型的建立25-27
• 3.1.1 研究對(duì)象的介紹25
• 3.1.2 真空環(huán)境下自由分子運(yùn)動(dòng)的數(shù)學(xué)模型25-27
• 3.1.3 仿真軟件簡(jiǎn)介27
• 3.2 靜態(tài)真空條件下的污染物擴(kuò)散沉降模擬27-37
• 3.2.1 靜態(tài)真空狀態(tài)分析27
• 3.2.2 數(shù)學(xué)模型和邊界條件27-28
• 3.2.3 模擬內(nèi)容28-36
• 3.2.4 小結(jié)36-37
• 3.3 動(dòng)態(tài)真空條件下的污染物擴(kuò)散沉降模擬37-45
• 3.3.1 動(dòng)態(tài)真空狀態(tài)分析37
• 3.3.2 數(shù)學(xué)模型和邊界條件37
• 3.3.3 模擬內(nèi)容37-44
• 3.3.4 小結(jié)44-45
• 第四章 真空系統(tǒng)中污染物擴(kuò)散沉降過(guò)程的實(shí)驗(yàn)研究45-48
• 4.1 實(shí)驗(yàn)方案45
• 4.2 真空系統(tǒng)污染物采集實(shí)驗(yàn)裝置45-46
• 4.3 真空系統(tǒng)污染物擴(kuò)散分布實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析46-47
• 4.4 本章小結(jié)47-48
• 第五章 總結(jié)與展望48-50
• 5.1 總結(jié)48-49
• 5.2 展望49-50
• 致謝50-52
• 參考文獻(xiàn)52-54
• 作者簡(jiǎn)介54

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