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杯型MEMS矢量水聽器的設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2017-07-01 22:02

  本文關(guān)鍵詞:杯型MEMS矢量水聽器的設(shè)計(jì),,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。


【摘要】:由于當(dāng)前四梁纖毛式MEMS矢量水聽器的靈敏度與帶寬之間相互制約,要想提高水聽器的靈敏度往往需要以大幅犧牲帶寬為代價(jià),針對(duì)此問(wèn)題提出了杯型矢量水聽器,在大幅提高水聽器靈敏度的同時(shí)仍具有一定的帶寬,滿足MEMS矢量水聽器低頻高靈敏度的工程應(yīng)用要求。通過(guò)ANSYS對(duì)杯型微結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真分析,保證水聽器的靈敏度及工作帶寬。駐波場(chǎng)測(cè)試結(jié)果表明,杯型矢量水聽器的靈敏度在400 Hz可達(dá)到-192 dB(前置放大40 dB),具有20~400 Hz的可測(cè)帶寬,在滿足測(cè)試帶寬的基礎(chǔ)上大幅提高了矢量水聽器的靈敏度,同時(shí)滿足靈敏度每頻程6 dB的增長(zhǎng)趨勢(shì),具有良好的"8"字型指向性,凹點(diǎn)深度為31.6 dB。
【作者單位】: 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】矢量水聽器 杯型微結(jié)構(gòu) 四梁敏感結(jié)構(gòu) 仿生纖毛 靈敏度 帶寬
【基金】:國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2013AA09A412) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51205374)
【分類號(hào)】:TB565.1
【正文快照】: 0引言隨著水聲技術(shù)的不斷發(fā)展,高靈敏度和小尺寸成為水聲傳感器發(fā)展的必然趨勢(shì),而對(duì)水下目標(biāo)準(zhǔn)確定位功能的矢量水聽器則更具競(jìng)爭(zhēng)力,具有較大的發(fā)展空間[1-3]。早在1956年美國(guó)學(xué)者C.B.Leslie等人[4]就提出了直接測(cè)量質(zhì)點(diǎn)振速的慣性水聽器模型,為矢量水聽器的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。1

【參考文獻(xiàn)】

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2 劉源;陳麗紅;張國(guó)軍;趙鵬;申輝;張文棟;;流體對(duì)MEMS矢量水聽器共振頻率的影響[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2014年06期

3 陳尚;薛晨陽(yáng);張斌珍;謝斌;;一種新型的MEMS單矢量水聽器研究[J];兵工學(xué)報(bào);2008年06期

4 陳麗潔;楊士莪;;壓阻式新型矢量水聽器設(shè)計(jì)[J];應(yīng)用聲學(xué);2006年05期

5 賈志富;測(cè)量超聲場(chǎng)聲強(qiáng)用組合式水聽器的設(shè)計(jì)方案[J];聲學(xué)技術(shù);2001年02期

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 李振;基于MEMS技術(shù)的仿生三軸向壓阻矢量水聽器的研制[D];中北大學(xué);2014年

2 陳尚;硅微MEMS仿生矢量水聲傳感器研究[D];中北大學(xué);2008年

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 徐偉;張國(guó)軍;劉源;韓建軍;白冰;張文棟;;杯型MEMS矢量水聽器的設(shè)計(jì)[J];微納電子技術(shù);2016年06期

2 郭靜;張國(guó)軍;劉源;王續(xù)博;張文棟;;四元陣型MEMS矢量水聽器微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2016年02期

3 王續(xù)博;張國(guó)軍;郭楠;郭靜;張文棟;;MEMS仿生矢量水聽器微結(jié)構(gòu)力學(xué)建模及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證[J];強(qiáng)激光與粒子束;2016年02期

4 郭楠;張國(guó)軍;劉夢(mèng)然;簡(jiǎn)澤明;張文棟;;組合式MEMS三維矢量水聲傳感器[J];微納電子技術(shù);2015年09期

5 楊江濤;馬喜宏;鄔琦;;MEMS仿生矢量水聽器封裝結(jié)構(gòu)的隔振研究[J];電子器件;2015年03期

6 郭靜;張國(guó)軍;王續(xù)博;張文棟;;MEMS仿生矢量水聽器微結(jié)構(gòu)的有限元分析(英文)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年02期

7 王振;劉振江;項(xiàng)頊;于硯廷;李曄;;空氣中矢量水聽器相位差測(cè)試方法研究[J];自動(dòng)化儀表;2014年11期

8 簡(jiǎn)澤明;張國(guó)軍;劉夢(mèng)然;張文棟;;MEMS仿生矢量水聽器的微結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];微納電子技術(shù);2014年09期

9 劉宏;劉慧敏;張國(guó)軍;宋小鵬;張文棟;;MEMS矢量傳感器方位估計(jì)誤差分析[J];火力與指揮控制;2014年05期

10 陳桂英;劉慧敏;邢麗萍;張國(guó)軍;張文棟;;標(biāo)矢量水聽器陣列的定向性能對(duì)比研究[J];儀表技術(shù)與傳感器;2014年04期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 于佳琪;基于Si-SOI鍵合的微電容超聲波換能器設(shè)計(jì)[D];中北大學(xué);2014年

2 劉宏;MEMS矢量傳感器在油氣管道檢測(cè)系統(tǒng)中的優(yōu)化設(shè)計(jì)[D];中北大學(xué);2014年

3 薛南;MEMS矢量水聽器在避障聲納中的應(yīng)用研究[D];中北大學(xué);2014年

4 李振;基于MEMS技術(shù)的仿生三軸向壓阻矢量水聽器的研制[D];中北大學(xué);2014年

5 張慧;基于DSP控制的矢量水聽器測(cè)距系統(tǒng)研究[D];中北大學(xué);2013年

6 葛曉洋;基于MEMS聲矢量傳感器的管道巡檢裝置地面標(biāo)記研究[D];中北大學(xué);2013年

7 孫新童;光纖水聽器抗偏振衰落及解調(diào)方案設(shè)計(jì)與研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2013年

8 宋樹平;矢量水聽器低頻校準(zhǔn)裝置研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2012年

9 周宏坤;組合式聲接收器的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2012年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 郭靜;張國(guó)軍;王續(xù)博;張文棟;;MEMS仿生矢量水聽器微結(jié)構(gòu)的有限元分析(英文)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年02期

2 譚波;嚴(yán)平;黃俊斌;;夾層式光纖激光水聽器探頭優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年02期

3 許姣;張國(guó)軍;石歸雄;王曉瑤;劉細(xì)寶;張文棟;;纖毛式矢量水聽器新型封裝結(jié)構(gòu)的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年04期

4 張國(guó)軍;陳尚;薛晨陽(yáng);張斌珍;張開瑞;;纖毛式MEMS矢量水聲傳感器的仿生組裝[J];納米技術(shù)與精密工程;2009年03期

5 陳尚;薛晨陽(yáng);張斌珍;張國(guó)軍;喬慧;張開銳;;硅微矢量水聲傳感器的封裝及測(cè)試方法研究[J];哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào);2008年05期

6 喬慧;劉俊;張斌珍;張文棟;熊繼軍;薛晨陽(yáng);;一種新型壓阻式硅微仿生矢量水聽器的設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

7 陳麗潔;楊士莪;;壓阻式新型矢量水聽器設(shè)計(jì)[J];應(yīng)用聲學(xué);2006年05期

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9 趙俊渭,陳華偉,李金明;基于矢量水聽器的被動(dòng)聲制導(dǎo)系統(tǒng)的研究[J];哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào);2004年01期

10 陳洪娟,洪連進(jìn);采用雙迭片壓電敏感元件的同振柱型矢量水聽器[J];應(yīng)用聲學(xué);2003年03期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 武甜甜;三維壓電矢量水聽器小型化的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

2 邢世文;三維矢量水聽器及其成陣研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

3 盧宇;水下目標(biāo)的探測(cè)與跟蹤[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

4 陳尚;硅微MEMS仿生矢量水聲傳感器研究[D];中北大學(xué);2008年

5 謝斌;MEMS仿生矢量水聲傳感器設(shè)計(jì)及其工藝研究[D];中北大學(xué);2007年

6 孫淑珍;基于MEMS的矢量水聽器的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2006年

7 吳祥興;超低頻矢量水聽器技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2005年

8 邢建軍;矢量水聽器測(cè)向技術(shù)的研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2005年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 陳麗潔;楊士莪;;矢量水聽器測(cè)試模型及拾振條件探討[J];應(yīng)用聲學(xué);2006年06期

2 喬慧;劉俊;張斌珍;張文棟;熊繼軍;薛晨陽(yáng);;一種新型壓阻式硅微仿生矢量水聽器的設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

3 彭漢書;李風(fēng)華;;由矢量水聽器陣列反演淺海地聲參數(shù)[J];聲學(xué)技術(shù);2008年02期

4 賈志富;;全面感知水聲信息的新傳感器技術(shù)——矢量水聽器及其應(yīng)用[J];物理;2009年03期

5 關(guān)凌綱;張國(guó)軍;薛晨陽(yáng);藍(lán)偉軍;;三維同振柱型矢量水聽器的制作[J];艦船科學(xué)技術(shù);2009年09期

6 徐余;孫好廣;;矢量水聽器振子實(shí)現(xiàn)研究[J];聲學(xué)與電子工程;2010年02期

7 王立;劉文怡;張國(guó)軍;;仿生矢量水聽器水下監(jiān)測(cè)記錄裝置[J];計(jì)算機(jī)測(cè)量與控制;2011年01期

8 洪連進(jìn);楊德森;時(shí)勝國(guó);邢世文;;中頻三軸向矢量水聽器的研究[J];振動(dòng)與沖擊;2011年03期

9 牛嗣亮;張振宇;胡永明;倪明;;單矢量水聽器的姿態(tài)修正測(cè)向問(wèn)題探討[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2011年06期

10 陳曉昭;陳建峰;王緒虎;張群飛;;矢量水聽器工程局限性剖析[J];聲學(xué)技術(shù);2012年05期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 陳洪娟;張虎;趙勰;;三維同振球形矢量水聽器的小型化研究[A];2009年全國(guó)水聲學(xué)學(xué)術(shù)交流暨水聲學(xué)分會(huì)換屆改選會(huì)議論文集[C];2009年

2 孫梅;李風(fēng)華;;一種矢量水聽器俯仰姿態(tài)校正方法研究[A];中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2009年青年學(xué)術(shù)會(huì)議[CYCA’09]論文集[C];2009年

3 許欣然;葛輝良;孟洪;白琳瑯;鄭震宇;;矢量水聽器聲性能的理論建模分析[A];2009年中國(guó)東西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2009年

4 高源;杜選民;;單個(gè)矢量水聽器空間處理增益分析[A];2004年全國(guó)水聲學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2004年

5 熊水東;羅洪;胡永明;倪明;孟洲;;三維光纖矢量水聽器實(shí)驗(yàn)研究[A];中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2005年青年學(xué)術(shù)會(huì)議[CYCA'05]論文集[C];2005年

6 胡永明;倪明;孟洲;熊水東;;光纖矢量水聽器研究進(jìn)展[A];中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2006年全國(guó)聲學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

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中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 唐曉偉 記者 姜雪松;冰城聲吶技術(shù)裝備造就“水下千里眼”[N];哈爾濱日?qǐng)?bào);2013年

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4 呂文磊;壓差式光纖矢量水聽器基元與測(cè)試技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

5 呂云飛;甚低頻矢量水聽器潛標(biāo)探測(cè)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

6 時(shí)勝國(guó);矢量水聽器及其在平臺(tái)上的應(yīng)用研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2007年

7 吳艷群;拖線陣用光纖矢量水聽器關(guān)鍵技術(shù)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

8 陳宇中;開環(huán)光纖陀螺性能改進(jìn)及其在光纖矢量水聽器姿態(tài)測(cè)量上的應(yīng)用研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

9 饒偉;光纖矢量水聽器海底地層結(jié)構(gòu)高分辨率探測(cè)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

10 程彬彬;基于二維壓差式矢量水聽器的方位估計(jì)研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2007年

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2 邢世文;三維矢量水聽器及其成陣研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

3 李金亮;三軸向電容式矢量水聽器的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

4 袁林;矢量水聽器智能化技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2008年

5 趙鵬濤;10-100Hz矢量水聽器研制及其測(cè)試方法研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2008年

6 趙勰;三維矢量水聽器及其低頻校準(zhǔn)方法的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

7 楊松濤;深水矢量水聽器的研制[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

8 邢建軍;矢量水聽器測(cè)向技術(shù)的研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2005年

9 周益明;二維同振柱形矢量水聽器的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2006年

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本文編號(hào):507603

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