本文關(guān)鍵詞：杯型MEMS矢量水聽器的設計，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：由于當前四梁纖毛式MEMS矢量水聽器的靈敏度與帶寬之間相互制約,要想提高水聽器的靈敏度往往需要以大幅犧牲帶寬為代價,針對此問題提出了杯型矢量水聽器,在大幅提高水聽器靈敏度的同時仍具有一定的帶寬,滿足MEMS矢量水聽器低頻高靈敏度的工程應用要求。通過ANSYS對杯型微結(jié)構(gòu)進行仿真分析,保證水聽器的靈敏度及工作帶寬。駐波場測試結(jié)果表明,杯型矢量水聽器的靈敏度在400 Hz可達到-192 dB(前置放大40 dB),具有20~400 Hz的可測帶寬,在滿足測試帶寬的基礎上大幅提高了矢量水聽器的靈敏度,同時滿足靈敏度每頻程6 dB的增長趨勢,具有良好的"8"字型指向性,凹點深度為31.6 dB。
【作者單位】： 中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學電子測試技術(shù)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 矢量水聽器 杯型微結(jié)構(gòu) 四梁敏感結(jié)構(gòu) 仿生纖毛 靈敏度 帶寬
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)資助項目(2013AA09A412) 國家自然科學基金資助項目(51205374)
【分類號】：TB565.1
【正文快照】： 0引言隨著水聲技術(shù)的不斷發(fā)展,高靈敏度和小尺寸成為水聲傳感器發(fā)展的必然趨勢,而對水下目標準確定位功能的矢量水聽器則更具競爭力,具有較大的發(fā)展空間[1-3]。早在1956年美國學者C.B.Leslie等人[4]就提出了直接測量質(zhì)點振速的慣性水聽器模型,為矢量水聽器的發(fā)展奠定了基礎。1

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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7 陳麗潔;楊士莪;;壓阻式新型矢量水聽器設計[J];應用聲學;2006年05期

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【相似文獻】

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1 陳麗潔;楊士莪;;矢量水聽器測試模型及拾振條件探討[J];應用聲學;2006年06期

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3 許欣然;葛輝良;孟洪;白琳瑯;鄭震宇;;矢量水聽器聲性能的理論建模分析[A];2009年中國東西部聲學學術(shù)交流會論文集[C];2009年

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中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 唐曉偉 記者 姜雪松;冰城聲吶技術(shù)裝備造就“水下千里眼”[N];哈爾濱日報;2013年

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本文編號：507603