本文關(guān)鍵詞：高速氣流噴射干式清洗理論及實(shí)驗(yàn)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為進(jìn)一步發(fā)展環(huán)保經(jīng)濟(jì)的清洗方式,提出一種高速氣流噴射的干式清洗方法。建立了高速氣流噴射條件下去除光滑表面球形微粒的物理模型,將拖拽力與粘附力的比值定義為無(wú)量綱的再懸浮參數(shù)F*并給出其值的計(jì)算方法。選取玻璃基板和單晶硅片為樣本平面、單分散的聚苯乙烯微粒為樣本微粒,進(jìn)行高速氣流噴射清洗實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)探討了F*與去除效率的關(guān)系。結(jié)果表明:高速氣流噴射法為去除光滑表面微粒的有效方式;再懸浮參數(shù)F*可以作為評(píng)估去除效率的有效依據(jù)。
【作者單位】： 中北大學(xué)山西省先進(jìn)制造重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;北京清大天達(dá)光電科技股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 干式清洗 高速氣流噴射 再懸浮參數(shù) 去除效率
【分類(lèi)號(hào)】：TB490
【正文快照】： 清洗技術(shù)的發(fā)展對(duì)于處理微電子、半導(dǎo)體和光學(xué)工業(yè)中亞微米顆粒的污染[1-2]、室內(nèi)有毒氣體和粉塵污染[3]以及核污染[4]有重要意義。在微電子產(chǎn)品的制備工藝過(guò)程和搬運(yùn)包裝過(guò)程中,塵埃粒子、纖維紙屑和Si O2等無(wú)機(jī)微粒附著在產(chǎn)品表面會(huì)造成產(chǎn)品缺陷[5]。隨著產(chǎn)品制備工藝條件的

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