智能節(jié)能窗用二氧化釩薄膜磁控濺射技術(shù)研究
發(fā)布時間:2022-10-19 11:18
二氧化釩是一種在68℃附近具有金屬-絕緣體可逆相變的新穎材料,相變前后對紅外光分別呈現(xiàn)出高透與高反的特性,是智能節(jié)能窗的理想材料。文章針對應(yīng)用于智能節(jié)能窗二氧化釩薄膜磁控濺射中存在的主要問題,綜述了近年來該領(lǐng)域發(fā)展的一些新技術(shù),特別是本研究組在基底上加偏置電壓降低沉積溫度、離子后處理提高可見光透射率、超薄層摻雜降低相變溫度等方面的工作進(jìn)展。
【文章頁數(shù)】:8 頁
【文章目錄】:
0 引言
1 VO2薄膜制備方法及在智能窗應(yīng)用中存在的問題
2 降低沉積溫度研究方面
2.1 負(fù)偏壓生長技術(shù)
2.2 緩沖層誘導(dǎo)生長技術(shù)
2.3 高功率脈沖磁控濺射技術(shù)
3 提高可見光透射率研究方面
4 降低相變溫度研究方面
5 總結(jié)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]二氧化釩智能節(jié)能窗:從鍍膜玻璃到節(jié)能發(fā)電一體化窗[J]. 陳長,曹傳祥,羅宏杰,高彥峰. 科學(xué)通報. 2016(15)
本文編號:3693269
【文章頁數(shù)】:8 頁
【文章目錄】:
0 引言
1 VO2薄膜制備方法及在智能窗應(yīng)用中存在的問題
2 降低沉積溫度研究方面
2.1 負(fù)偏壓生長技術(shù)
2.2 緩沖層誘導(dǎo)生長技術(shù)
2.3 高功率脈沖磁控濺射技術(shù)
3 提高可見光透射率研究方面
4 降低相變溫度研究方面
5 總結(jié)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]二氧化釩智能節(jié)能窗:從鍍膜玻璃到節(jié)能發(fā)電一體化窗[J]. 陳長,曹傳祥,羅宏杰,高彥峰. 科學(xué)通報. 2016(15)
本文編號:3693269
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