為了解決當前采用一維縱向超聲加載模式進行芯片鍵合時造成結合面不充分的問題,設計縱彎復合超聲能量加載模式的壓電超聲換能器,實現(xiàn)軸向縱振和水平彎振復合的超聲振動代替?zhèn)鹘y(tǒng)單一的軸向振動.采用ANSYS軟件,對換能器有限元模型進行模態(tài)分析和諧響應分析,得到換能器縱振和彎振模態(tài)的諧振頻率及振型.通過調(diào)節(jié)換能器結構尺寸,實現(xiàn)縱振與彎振模態(tài)的簡并.采用阻抗分析儀對樣機的頻率和阻抗進行測試,使用激光多普勒測振儀測試換能器的縱振與彎振幅值,測試結果與有限元仿真計算結果一致,發(fā)現(xiàn)縱向與彎曲振幅均隨著驅(qū)動電壓的增加呈近似線性上升趨勢,證明設計的壓電換能器實現(xiàn)了縱彎復合振動. 

【文章來源】：浙江大學學報(工學版). 2020,54(07)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3540739