本文選題：類金剛石薄膜 + Al摻雜��； 參考：《摩擦學(xué)學(xué)報(bào)》2017年03期

【摘要】：采用磁控濺射技術(shù),以Al為濺射靶材,甲烷為濺射氣體,在不同射頻功率下制備了一系列Al含量不同的類金剛石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量對(duì)薄膜成分、結(jié)構(gòu)及機(jī)械性能的影響,并探討了其在空氣和水介質(zhì)下的摩擦磨損行為.結(jié)果表明:Al摻雜使得薄膜中sp~3-C的生長(zhǎng)受到抑制,sp~2-C增加,表面吸附水分子能力變強(qiáng),在水介質(zhì)摩擦過程中的剪切阻力變小,從而使得摩擦磨損減小.通過調(diào)整射頻功率可以對(duì)薄膜中Al含量進(jìn)行調(diào)控,在最優(yōu)Al含量時(shí),Al-DLC在空氣和水介質(zhì)中均具有優(yōu)異的摩擦學(xué)性能.
[Abstract]:A series of diamond-like carbon based films with different Al content were prepared by magnetron sputtering with Al as target and methane as sputtering gas at different RF power. The effects of Al content on the composition, structure and mechanical properties of the films were analyzed, and the friction and wear behaviors of the films in air and water media were discussed. The results show that the growth of sp~3-C in the thin films is inhibited by doping with 1: al, and the surface adsorptive ability of water molecules becomes stronger, and the shear resistance decreases during the friction process of water medium, which results in the decrease of friction and wear. The Al content in the film can be regulated by adjusting the RF power. The Al-DLC has excellent tribological properties in both air and water when the Al content is optimized.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤(rùn)滑國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);青島市資源化學(xué)與新材料研究中心;
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃項(xiàng)目(973)(2013CB632302) 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51375471) 青島市自主創(chuàng)新計(jì)劃(16-5-1-97-jch)資助~~
【分類號(hào)】：TB383.2

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3 林s，

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