本文選題：類金剛石薄膜 + Al摻雜��； 參考：《摩擦學學報》2017年03期

【摘要】：采用磁控濺射技術,以Al為濺射靶材,甲烷為濺射氣體,在不同射頻功率下制備了一系列Al含量不同的類金剛石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量對薄膜成分、結構及機械性能的影響,并探討了其在空氣和水介質下的摩擦磨損行為.結果表明:Al摻雜使得薄膜中sp~3-C的生長受到抑制,sp~2-C增加,表面吸附水分子能力變強,在水介質摩擦過程中的剪切阻力變小,從而使得摩擦磨損減小.通過調整射頻功率可以對薄膜中Al含量進行調控,在最優(yōu)Al含量時,Al-DLC在空氣和水介質中均具有優(yōu)異的摩擦學性能.
[Abstract]:A series of diamond-like carbon based films with different Al content were prepared by magnetron sputtering with Al as target and methane as sputtering gas at different RF power. The effects of Al content on the composition, structure and mechanical properties of the films were analyzed, and the friction and wear behaviors of the films in air and water media were discussed. The results show that the growth of sp~3-C in the thin films is inhibited by doping with 1: al, and the surface adsorptive ability of water molecules becomes stronger, and the shear resistance decreases during the friction process of water medium, which results in the decrease of friction and wear. The Al content in the film can be regulated by adjusting the RF power. The Al-DLC has excellent tribological properties in both air and water when the Al content is optimized.
【作者單位】： 中國科學院蘭州化學物理研究所固體潤滑國家重點實驗室;中國科學院大學;青島市資源化學與新材料研究中心;
【基金】：國家重點基礎研究發(fā)展規(guī)劃項目(973)(2013CB632302) 國家自然科學基金項目(51375471) 青島市自主創(chuàng)新計劃(16-5-1-97-jch)資助~~
【分類號】：TB383.2

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3 林s，

本文編號：1813346