本文關(guān)鍵詞：干涉面形絕對檢測不確定度評估方法研究　出處：《中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所》2017年博士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測 干涉計(jì)量 絕對檢測 三平板絕對檢測 不確定度評估

【摘要】：以投影光刻物鏡為代表的現(xiàn)代高端光學(xué)系統(tǒng)已經(jīng)將光學(xué)元件干涉面形檢測推向了“極限”,光學(xué)元件面形質(zhì)量要求達(dá)到均方根值(rms)納米甚至亞納米級別。這給面形檢測提出了極大的挑戰(zhàn),使得傳統(tǒng)的檢測手段已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代高端光學(xué)元件研制的需求,相應(yīng)的面形檢測結(jié)果不能充分發(fā)揮其指導(dǎo)加工的作用。一個完整的面形檢測結(jié)果應(yīng)該包括被測面形的最佳估計(jì)值和描述該檢測結(jié)果分散性的測量不確定度。測量不確定度評估方法的研究是干涉面形檢測中的研究難點(diǎn),是尋求減小不確定度途徑中必須經(jīng)歷且必不可少的一步。絕對檢測技術(shù)將系統(tǒng)誤差(主要指參考面面形誤差)從相對測量結(jié)果中分離出來,可突破參考標(biāo)準(zhǔn)固有的精度限制,因此有望實(shí)現(xiàn)最小不確定度的檢測。但是絕對檢測本身的不確定度也必須加以評估。本論文正是針對絕對檢測結(jié)果的不確定度需要準(zhǔn)確評估的需求,以探索一種適用于干涉面形絕對檢測不確定度評估的通用方法為主要目的,主要開展了以下研究內(nèi)容:1、充分調(diào)研國內(nèi)外現(xiàn)行的幾種不確定度評估方法,對比兩種適用于面形檢測的自上而下和自下而上不確定度評估方法,分析比較其各自的優(yōu)缺點(diǎn)及其適用范圍;系統(tǒng)分析幾種常用的干涉面形絕對檢測技術(shù),包括三平板法及其擴(kuò)展方法、雙球面法、隨機(jī)球法、平移旋轉(zhuǎn)法和逆向優(yōu)化法,并從測量裝置、測量人員、測量方法、測量環(huán)境四大方面分析各種絕對檢測技術(shù)的不確定度來源。2、對絕對檢測的模型建立、模型求解、模型誤差傳遞和不確定度評估這幾個方面進(jìn)行系統(tǒng)研究。使用一個通用的線性回歸模型來描述整個絕對檢測過程,并引入了三種絕對檢測模型的求解算法,包括最小二乘法、極大似然估計(jì)法和矩陣迭代法。介紹了兩種絕對檢測誤差傳遞和不確定度評估的方法:基于正態(tài)統(tǒng)計(jì)分布假設(shè)的測量不確定度評估方法和基于蒙特卡洛誤差傳遞的不確定度評估方法。3、文中系統(tǒng)研究了三平板法絕對檢測技術(shù)。提出了一種通用的三平板平面絕對檢測方法,即采用通用迭代優(yōu)化算法來求解三平板模型,該通用迭代算法可以實(shí)現(xiàn)像素空間分辨率的檢測,實(shí)施簡單、收斂快速且迭代重構(gòu)精度高,同時(shí)不需要太大的存儲空間和運(yùn)算量。設(shè)計(jì)仿真實(shí)驗(yàn)和實(shí)測實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證該算法的有效性。并詳細(xì)分析了三平板測量過程中的主要不確定度源。4、研究了一種不確定度評估的擬蒙特卡洛方法,用于處理小樣本情況下測量不確定度的準(zhǔn)確評估,具有不需要對總體分布做任何假設(shè)的優(yōu)勢。該方法針對每個像素點(diǎn)的面形進(jìn)行評估,其評估的面形結(jié)果及其不確定度都用矩陣圖表示,因此評估結(jié)果更加完整,而不單單是rms值這樣的單值指標(biāo)。該方法是《測量不確定度評定與表示》(GUM法)的補(bǔ)充,為GUM法評估結(jié)果提供了一種驗(yàn)證方法。以通用三平板絕對檢測技術(shù)為例,同時(shí)使用GUM法和擬蒙特卡洛法對測量結(jié)果進(jìn)行了不確定度評估,同時(shí)設(shè)計(jì)了多種交叉對比實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證不確定度評估結(jié)果的可靠性。5、系統(tǒng)分析了三平板法絕對檢測的誤差分配原則和精度保證措施。針對立式工況下重力變形問題提出了一種基于模型的重力變形補(bǔ)償技術(shù),為零重力變形的提取提供了思路�；谀Ｐ偷闹亓ψ冃窝a(bǔ)償技術(shù)借助于有限元模型和實(shí)測旋轉(zhuǎn)差分檢測數(shù)據(jù),通過迭代優(yōu)化算法來分離旋轉(zhuǎn)差分檢測過程中的調(diào)整誤差,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)實(shí)際工況下重力變形的準(zhǔn)確提取。并設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了基于模型的重力變形補(bǔ)償方法的有效性。6、提出可以通過優(yōu)化測量條件配置使得絕對檢測在消除模型誤差的同時(shí)抑制測量噪聲,從而降低測量不確定度。仿真分析了單次旋轉(zhuǎn)角度測量和多次旋轉(zhuǎn)角度測量的優(yōu)化配置問題。并通過設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)得到單次旋轉(zhuǎn)和多次旋轉(zhuǎn)的獨(dú)立重復(fù)測量精度分別為0.35 nm rms和0.24 nm rms,驗(yàn)證了多次旋轉(zhuǎn)角度優(yōu)化配置后實(shí)現(xiàn)了測量不確定度的降低。
[Abstract]:The modern high-end optical system in projection lithography lens have been represented by the optical element surface to interference detection limit, optical component surface quality requirements to the RMS value (RMS) nano or even sub nanometer level. The surface presents a great challenge to the traditional means of detection, detection has been unable to meet the demand for high-end modern optical element is developed, the corresponding surface detection results can not fully play its guiding role. A machining surface integrity test results should include the best estimate of measured surface values and describe the detection results of dispersion measurement uncertainty. Study of measurement uncertainty evaluation method is difficult study on interference surface detection, is seeking to reduce the uncertainty in the way of experience and must be an essential step. The absolute detection system error (mainly refers to the reference surface error) from Isolated relative measurement results, the accuracy limit can break the inherent reference standard, it is expected to achieve the minimum uncertainty of detection. But the absolute detection uncertainty itself must also be evaluated. This paper is the uncertainty of the need to accurately assess the demand for absolute detection results, to explore a suitable intervention absolute flatness detection method of uncertainty evaluation as the main purpose, the main research contents are as following: 1, full investigation and evaluation method of several existing domestic and foreign uncertainty degree evaluation method applicable to the comparison of two kinds of surface shape detection of top-down and bottom-up uncertainty, analyzed and compared their advantages and disadvantages and their application the scope of system analysis; the absolute detection technology of several commonly used interference surface, including three plate method and the expansion method, double sphere method, random sphere, translation and rotation and the reverse. The method, and the measuring device, measuring, measurement method, measurement environment four aspects of absolute detection technology analysis of various sources of uncertainty in.2, established on the absolute detection model of solving the model, the model of error transfer and uncertainty evaluation of several aspects of this system. Using a general linear regression model to describe the absolute detection process, and introduces the algorithm for solving three kinds of absolute detection model, including least squares, maximum likelihood estimation method and matrix iteration method. The transfer and the method of uncertainty evaluation of two kinds of errors: absolute measurement uncertainty evaluation method and uncertainty evaluation method based on Monte Carlo error transfer.3 the measurement of normal statistical distribution based on the assumption, this paper studies three plate method of absolute detection technology. Propose an absolute detection method of a general three plane, i.e. A general iterative optimization algorithm to solve the three plate model, the general iterative algorithm can achieve spatial resolution pixel detection, simple implementation, fast convergence and high precision iterative reconstruction, and does not require storage space and computing quantity is too large. Simulation experiments and field experiments to verify the effectiveness of the algorithm and a detailed analysis of the three. The tablet in the measurement of the main uncertainty sources of.4, a Quasi Monte Carlo method for uncertainty evaluation, for the case of small sample measurement uncertainty to accurately assess the degree, which do not need to make any assumptions on the overall advantages. The distribution of surface shape for each pixel of the methods are evaluated the surface shape of the evaluation results and uncertainty with matrix diagram, so the evaluation results are more complete, not just the RMS value of this single value index. This method is the evaluation of uncertainty in measurement. With said > (GUM) supplement provides a verification method for the evaluation result of GUM method. In general three tablet absolute detection technology as an example, using GUM method and Quasi Monte Carlo method on the measurement results of uncertainty evaluation, and designed a variety of cross contrast experiments to verify the reliability of.5 uncertainty the evaluation results, the error distribution principle and means to guarantee the accuracy of a systematic analysis of the three plate method of absolute measurement. Aiming at the problem of deformation under the condition of vertical gravity presents a deformation model based on gravity compensation technology, extracting deformation as zero gravity has provided the thinking model of gravity deformation compensation technology. With the help of the finite element model and measured rotating differential detection based on the data, through the iterative optimization algorithm to separate the rotation error adjustment in the process of detection, so as to realize the accurate extraction of the actual conditions of gravity deformation. And design The.6 test is to verify the effectiveness of the compensation method of the deformation model based on gravity, can put forward the measurement of noise suppression in the model error and absolute measurement conditions through the optimization of configuration makes, so as to reduce the measurement uncertainty. Simulation analysis of the optimized configuration of single rotation angle measurement and rotation angle measurement and the design. The independent measurement accuracy of single rotation and multiple rotations were 0.35 nm rms and 0.24 nm rms, have proved the rotation angle optimization is achieved after the measurement uncertainty is reduced.

【學(xué)位授予單位】：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
【學(xué)位級別】：博士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：O436.1

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本文編號：1432160