許多電路系統(tǒng)中都需要用到可調諧的電子元器件,如變容管、移相器、濾波器,振蕩器等。在實現(xiàn)器件的可調性技術中,介質薄膜變容管技術以其響應速度快、成本低、易集成等優(yōu)點,具有很大的應用前景。介質薄膜可調諧電子元器件的核心是可調材料,研究新型的介電可調材料,提高現(xiàn)有介電可調材料的性能是亟待解決的問題。具有立方焦綠石結構的Bi_1.5MgNb_1.5O₇（BMN）材料具有適中的介電常數(shù)、極低的介電損耗和較大的介電調諧率等特性,是一種很有應用潛力的介電材料。BMN材料的介電性能與A-位離子的無序結構及其介電響應相關。本論文通過不同的離子取代BMN材料中A-位的Mg²⁺,研究了取代后新材料的介電性能的變化,探索了BMN材料的介電損耗機理并展開了BMN介質薄膜變容管的研制工作。本論文主要的工作內容和結論如下:1.研究A-位離子對BMN材料結構及介電性能的影響。選取鈷離子、鈣離子和鎳離子作為A-位摻雜離子用于取代BMN材料中Mg²⁺離子。制備出對應的Co-BMN、Ca-BMN和Ni-BMN陶瓷材料,并... 

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 BMN材料的概況
        1.2.1 BMN材料的結構及其特點
        1.2.2 BMN材料的研究現(xiàn)狀
    1.3 本文的主要研究內容
第二章 實驗方法
    2.1 A-位取代離子的選擇
    2.2 陶瓷材料的制備
    2.3 BMN薄膜的制備
    2.4 薄膜電極的制備
    2.5 材料微觀結構的表征方法與性能的測量方法
        2.5.1 X射線衍射技術
        2.5.2 拉曼光譜分析
        2.5.3 掃描電子顯微鏡(SEM)
        2.5.4 薄膜厚度的測量
        2.5.5 介電性能測試
        2.5.6 陶瓷片的溫度特性測試
第三章 BMN材料的A-位摻雜研究
    3.1 Bi_(1.5)Mg_(1-x)Ca_xNbO_7摻雜體系的改性研究
        3.1.1 Ca-BMN陶瓷樣品的結構表征
        3.1.2 Ca-BMN陶瓷的介電性能測試
    3.2 Bi_(1.5)Mg_(1-x)Ca_xNbO_7摻雜體系的改性研究
        3.2.1 Co-BMN陶瓷樣品的結構表征
        3.2.2 Co-BMN陶瓷的介電性能測試
    3.3 Bi_(1.5)Mg_(1-x)Ni_xNbO_7摻雜體系的改性研究
        3.3.1 Ni-BMN陶瓷樣品的結構表征
        3.3.2 Ni-BMN陶瓷的介電性能測試
        3.3.3 Ni-BMN陶瓷材料的組分分析
    3.4 本章小結
第四章 BMN材料損耗機理研究
    4.1 陶瓷損耗的測試方法
    4.2 BMN材料的介電損耗機理研究
    4.3 介質材料的非固有損耗
        4.3.1 普適弛豫現(xiàn)象
        4.3.2 傳導電子損耗
        4.3.3 局部極化損耗
        4.3.4 帶電缺陷損耗
    4.4 本章小結
第五章 BMN材料介質變容管原型器件研究
    5.1 BMN材料的薄膜工藝參數(shù)
    5.2 BMN薄膜電容的制備
        5.2.1 微細加工技術
        5.2.2 電極的制備
        5.2.3 BMN薄膜樣品的性能測試
    5.3 BMN介質薄膜變容管的結構設計
        5.3.1 變容管基本結構的設計
        5.3.2 變容管的版圖設計
    5.4 電極與BMN薄膜的圖形化研究
        5.4.1 電極的圖形化
        5.4.2 介質薄膜的圖形化及變容管原型器件加工
    5.5 本章小結
第六章 結論
致謝
參考文獻
攻讀碩士期間取得的與學位論文相關的研究成果


【參考文獻】：
博士論文
[1]鉍基焦綠石鈮酸鉍鎂材料結構及薄膜的介電性能研究[D]. 高莉彬.電子科技大學 2014
[2]低損耗BZN/BST介電薄膜及微波變容管技術研究[D]. 李汝冠.電子科技大學 2013

碩士論文
[1]兩種新型硅基陶瓷的微結構與微波性能研究[D]. 尹海清.杭州電子科技大學 2018
[2]BST薄膜介質變容管的研制及應用[D]. 王元.電子科技大學 2011



本文編號：3710519