微細電解加工技術(shù)是金屬工件在電解液中發(fā)生陽極溶解的一種加工過程,在加工過程中陽極金屬材料以離子的形式被去除,無切削力和表面內(nèi)應力,使得加工出的工件表面質(zhì)量好,加工精度高。在對難加工材料以及復雜形狀零件的加工上,有著十分廣闊的發(fā)展前景,在微納制造領(lǐng)域具有重要意義。本文提出一種基于正弦信號的電化學微細加工技術(shù)。將傳統(tǒng)的脈沖信號換成更容易獲取的正弦信號,建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學模型,分析了此方法的加工機理,并利用該技術(shù)進行了微孔以及二維微結(jié)構(gòu)的微細電解加工實驗,加工精度達到了1μm,證明了該方法的可行性并分析了影響電解加工精度的工藝參數(shù)。研究了基于正弦信號和可變電阻復合影響的電化學微細加工技術(shù)。在加工電路中引入可變電阻,建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學模型,分析了加工精度隨正弦信號頻率以及可變電阻值的變化規(guī)律,改變了加工電路中的加工電壓以及時間常數(shù),使電解加工處于暫態(tài)加工狀態(tài)。通過微細電解加工實驗將加工精度提高到了450nm,驗證了該方法獲得高加工精度的可行性。研究了基于復合正弦信號和可變電阻共同影響的電化學微細加工技術(shù)。并建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學模型,分析了加工精度隨正弦信號頻率以及倍頻系數(shù)的變化... 

【文章來源】：燕山大學河北省

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

超短脈沖微細

a) 雙凸臺微結(jié)構(gòu) b) 微螺旋結(jié)構(gòu) 圖 1-1 超短脈沖微細電解加工的微結(jié)構(gòu) 加拿大學者 Ehsan Azarsa、Lorenzo Cinco 等人研究了高縱橫比獨立式結(jié)構(gòu)的磨料水射流微加工，如圖 1-2 所示。使用微噴嘴加工出了各種偏移量的相鄰直通道，從而在它們之間保留獨立式結(jié)構(gòu)。研究了噴嘴橫移速度，通過次數(shù)，噴水壓力，通道偏移和磨料質(zhì)量流速的變化對所得獨立結(jié)構(gòu)質(zhì)量的影響[34]。當工藝條件使得材料去除率很高，即低移動速度，高壓，高磨料質(zhì)量流速時，可以預期出現(xiàn)較少的流平，并具有制造速度更快的附加優(yōu)點。因此，盡管較低的移動速度導致結(jié)構(gòu)之間的通道更寬，但是產(chǎn)生更深通道的益處而遠遠超過了該缺點。

該項研究不僅獲得了光滑的表面，而且還減小了跡線尺寸，提高了機械穩(wěn)定性。 a) 在 PCB 基板上 3μm 的走線 b) 寬度為 25μm 的跡線


本文編號：3473282