為掌握和了解TFT-LCD行業(yè)生產(chǎn)過程中,各工藝環(huán)節(jié)揮發(fā)性有機物(VOCs)的排放特征,以國內(nèi)某TFT-LCD制造公司為例,研究了各生產(chǎn)車間的VOCs濃度分布。結(jié)果表明:陣列生產(chǎn)車間VOCs均值濃度最高,波動范圍為4.14～11.19×10^-6(1～12月);彩膜(CF)生產(chǎn)車間光刻膠成分比較復雜,綠膠產(chǎn)線VOCs均值濃度最高,為4.6～14.50×10^-6(1～12月);陣列和CF車間VCD區(qū)域,VOCs濃度最高;降低TFT-LCD生產(chǎn)車間VOCs的濃度關鍵在于源頭控制,投加沸石轉(zhuǎn)輪吸附設備對生產(chǎn)車間VOCs濃度的降低具有很明顯的作用,可以去除大約60.71%～71.33%的有機廢氣。

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【部分圖文】：

圖1TFT-LCD生產(chǎn)工藝和有機廢氣產(chǎn)污環(huán)節(jié)

TFT-LCD工業(yè)流程主要包括陣列、彩膜、成盒、模組4部分，如圖1所示。陣列生產(chǎn)廠房負責陣列基板的生產(chǎn)包括玻璃基板清洗、PECVD、濺射、光刻、刻蝕、剝離等工序；彩色濾光片是TFT-LCD的重要組成部分，其基本結(jié)構(gòu)由玻璃基板（GlassSubstrate）、黑色矩陣（Black....

圖2陣列、彩膜、成盒工藝產(chǎn)線VOCs檢測點位分布。

在TFT-LCD工業(yè)生產(chǎn)過程中，揮發(fā)性有機物主要來源于光刻膠和PI液的使用產(chǎn)線、如陣列車間的涂膠（Track）線，彩膜車間的涂布設備線和成盒的PI液噴涂線，故檢測點位主要設置在這些產(chǎn)線上，如圖2所示。陣列車間涂膠線使用的光刻膠成分主要是PGMEA，根據(jù)工藝結(jié)構(gòu)，每條線設置4個檢測....

圖3工藝產(chǎn)線VOCs濃度分布（1～12月）

為分析陣列、彩膜、成盒工藝生產(chǎn)車間每條產(chǎn)線VOCs的濃度分布情況，分別對3個車間中其中一條線1～12月份的濃度進行監(jiān)測，結(jié)果如圖3所示。研究表明，陣列和CF車間產(chǎn)線4個點位濃度分布情況幾乎一致，VCD抽壓區(qū)（A4、B4)VOCs濃度最高，VOCs濃度分布趨勢為A4>A3>A2>A....

圖3工藝產(chǎn)線VOCs濃度分布（1～12月）

圖3工藝產(chǎn)線VOCs濃度分布（1～12月）4.2工藝生產(chǎn)車間VOCs濃度分布

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