眾所周知銀有著最低的電阻率（超導除外）和在可見光區(qū)的高反射性,以及良好的可摻雜性,在光電子器件與近年來發(fā)展的智能可穿戴設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。磁控濺射法是銀薄膜制備常用的方法,然而此方法成本較高,制備過程中會不可避免的造成資源浪費,也會出現(xiàn)顆粒凝聚現(xiàn)象,降低了銀薄膜與基材的附著力,也影響了它的光電性質(zhì),以致降低了銀良好的導電性。超聲噴霧熱解法因工藝簡單、成本較低、容易實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn),有著良好的發(fā)展前景。本課題在研究國內(nèi)外超聲噴霧熱裝置的基礎(chǔ)上,自行設(shè)計超聲噴霧熱解制膜儀器,在使用過程中根據(jù)工藝的需要對該儀器不斷的改進。采用該超聲噴霧熱解制膜儀器,重點分析了襯底溫度、前驅(qū)液體濃度、電壓大小等工藝參數(shù)對Ag薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響,分析了成膜機理,并通過嘗試Ag與ZnO的摻雜來改變薄膜的光電學性能。實驗以硝酸銀為前驅(qū)體溶液,聚酰亞胺為襯底來制備銀薄膜,并且通過硝酸鋅六水化合物（Zn（NO3）2·6H2O）來提供鋅,制備銀摻氧化鋅薄膜。利用掃描電子顯微鏡（SEM）觀察薄膜的表面形貌;采用X射線衍射儀（XRD）對物質(zhì)內(nèi)部原子空間分布狀況的結(jié)構(gòu)進行分析;借助光致發(fā)光光譜儀（PL譜）測量薄膜的帶隙寬度。... 

【文章來源】：天津工業(yè)大學天津市

【文章頁數(shù)】：61 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 課題背景
    1.2 薄膜電極
    1.3 導電材料
        1.3.1 金屬氧化物
        1.3.2 導電聚合物
        1.3.3 碳納米材料
    1.4 薄膜電極制備方法
        1.4.1 磁控濺射法
        1.4.2 溶膠凝膠法
        1.4.3 真空蒸發(fā)沉積
        1.4.4 化學氣相沉積法
        1.4.5 脈沖激光沉積法
        1.4.6 超聲噴霧熱解法
    1.5 本文的選題依據(jù)和主要研究內(nèi)容
        1.5.1 論文選題依據(jù)
        1.5.2 論文的主要研究內(nèi)容
    1.6 論文章節(jié)安排
第二章 超聲噴霧熱解的研究進展及實驗設(shè)備的設(shè)計
    2.1 噴霧熱解法制膜的基本原理
    2.2 噴霧熱解法制膜的特點和應(yīng)用范圍
        2.2.1 噴霧熱解法制膜的特點
        2.2.2 超聲噴霧熱解法制膜的應(yīng)用范圍
    2.3 目前國內(nèi)外噴霧熱解制膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
    2.4 超聲噴霧熱解制膜設(shè)備的設(shè)計
        2.4.1 設(shè)備基本結(jié)構(gòu)
        2.4.2 設(shè)備改造優(yōu)化
第三章 超聲噴霧熱解制備銀導電薄膜
    3.1 實驗準備
        3.1.1 實驗藥品及相關(guān)儀器
        3.1.2 前驅(qū)體溶液的配置及襯底清洗
        3.1.3 噴霧沉積
    3.2 結(jié)果與分析
        3.2.1 載氣流量
        3.2.2 噴嘴到襯底的距離
        3.2.3 噴涂時間
        3.2.4 襯底溫度對Ag薄膜的影響
        3.2.5 前驅(qū)體溶液濃度對Ag薄膜的影響
        3.2.6 不同電場強度對Ag薄膜的影響
        3.2.7 不同退火溫度對Ag薄膜的影響
    3.3 本章小結(jié)
第四章 超聲噴霧熱解制備銀摻雜氧化鋅薄膜
    4.1 實驗藥品及相關(guān)儀器
    4.2 實驗方法
    4.3 Ag對Ag摻ZnO薄膜的影響
        4.3.1 不同比例下Ag摻雜ZnO薄膜的結(jié)構(gòu)特
        4.3.2 不同沉積溫度Ag摻雜ZnO薄膜的表面形貌
        4.3.3 電場強度對Ag摻雜ZnO薄膜表面形貌的影響
        4.3.4 Ag摻雜ZnO薄膜的光學特性
        4.3.5 Ag摻雜ZnO薄膜的電學特性
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)與展望
    5.1 總結(jié)
    5.2 展望
參考文獻
發(fā)表論文和參加科研情況
致謝



本文編號：3373745