【摘要】：闡述液相電化學沉積法制備類金剛石碳(DLC)薄膜的原理,介紹液相制備法的優(yōu)勢,從電解液、電壓、摻雜元素以及反應(yīng)機理4個方面介紹電化學法制備類金剛石薄膜的研究進展�？偨Y(jié)DLC薄膜的性能以及在不同領(lǐng)域的應(yīng)用,并對液相電沉積DLC薄膜的發(fā)展前景進行了展望。

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