【摘要】：采用溶膠-凝膠旋涂法,以醋酸鋅、乙二醇甲醚和乙醇胺為反應(yīng)前驅(qū)物,在不同前熱處理溫度下制備了ZnO納米薄膜.采用XRD和SEM研究了前熱處理溫度對(duì)ZnO薄膜微結(jié)構(gòu)的影響,并剖析了溶膠溶液中存在的反應(yīng)和產(chǎn)物.單采用前熱處理得不到結(jié)晶性很好的(002)擇優(yōu)取向的ZnO納米薄膜.當(dāng)前熱處理溫度為250℃時(shí),經(jīng)過400℃后熱處理后ZnO薄膜的(002)擇優(yōu)取向性最佳.前熱處理時(shí)濕膜中未完全分解的有機(jī)物在后熱處理過程中的分解,以及過高的前熱處理溫度使得凝膠網(wǎng)絡(luò)中的有機(jī)物劇烈脫附,對(duì)凝膠網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)造成損傷,不利于薄膜(002)擇優(yōu)取向生長,前者是造成薄膜出現(xiàn)微米尺度均勻褶皺的根本原因.
[Abstract]:ZnO nano-films were prepared by sol-gel spin-coating method with zinc acetate, ethylene glycol methyl ether and ethanolamine as reaction precursors at different pre-heat treatment temperatures. The effects of pre-heat treatment temperature on the microstructure of ZnO films were studied by XRD and SEM, and the reaction and products in sol solution were analyzed. ZnO nano-films with good crystallinity (002) preferred orientation. The (002) preferred orientation of ZnO films is best when the current heat treatment temperature is 250, and the (002) preferred orientation of ZnO films after heat treatment at 400. The decomposition of incompletely decomposed organic matter in wet films during post-heat treatment during pre-heat treatment and the excessive pre-heat treatment temperature result in the presence of nano- The drastic desorption of the gel caused damage to the network structure of the gel, which was not conducive to the preferred orientation growth of the film (002).
【作者單位】： 鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(60807001)
【分類號(hào)】：O484

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3 許e，

本文編號(hào)：2214732