【摘要】：厚度低于5μm的Al Mg合金箔材可作為帶材切割的原材料應(yīng)用于Z箍縮物理實(shí)驗(yàn)。利用熱蒸鍍方法,通過(guò)控制沉積速率在超光滑的Na Cl基片上獲得了Al Mg薄膜,最終在脫膜后獲得了厚度低于5μm的無(wú)支撐Al Mg箔材。實(shí)驗(yàn)對(duì)該箔材的厚度均勻性、表面粗糙度、衍射峰位、晶粒尺寸及距表面不同距離下的成份進(jìn)行了分析表征。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),此熱蒸鍍法制備的Al Mg合金箔材的厚度均勻性?xún)?yōu)于8%,兩面的表面粗糙度均小于180 nm,晶粒尺寸約20 nm;不同厚度樣品的衍射峰位未明顯偏移,箔材內(nèi)應(yīng)力很小;不同深度下Mg含量穩(wěn)定分布,而在箔材表面雜質(zhì)含量較高,在距表面6 nm以下合金含量達(dá)到預(yù)期值并趨于穩(wěn)定。熱蒸鍍法制得的無(wú)支撐Al Mg合金箔材具有厚度可控且均勻、成分穩(wěn)定、內(nèi)應(yīng)力小的特點(diǎn),適用于制備Z箍縮帶陣負(fù)載。
[Abstract]:Al-Mg alloy foil with thickness less than 5 micron can be used as raw material for strip cutting in Z-pinch physical experiments.Al-Mg thin films were obtained on ultra-smooth NaCl substrates by hot-dip plating method,and unsupported Al-Mg foil with thickness less than 5 micron was obtained after stripping. Surface roughness, diffraction peak position, grain size and composition at different distance from the surface were analyzed and characterized. It was found that the thickness uniformity of Al Mg alloy foil prepared by this method was better than 8%, the surface roughness on both sides was less than 180 nm, and the grain size was about 20 nm. The stress is very small; the Mg content is stable at different depths, but the impurity content is high on the surface of the foil. The alloy content below 6 nm from the surface reaches the expected value and tends to be stable.
【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11135007)
【分類(lèi)號(hào)】：TG146.21

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2212528