本文關(guān)鍵詞： 氧氣流量 MPCVD 超納米金剛石膜 金剛石含量　出處：《材料導(dǎo)報》2017年S1期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：采用微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù),以CH_4/H_2/Ar為氣源,通過調(diào)節(jié)O_2流量,增強等離子體對非金剛石相的刻蝕能力,提高超納米金剛石膜中金剛石相的含量。并利用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、拉曼光譜及X射線光電子能譜(XPS)分別對超納米金剛石膜的形貌、生長速率、晶型、晶粒尺寸及金剛石含量進(jìn)行了表征分析,重點研究了O_2流量對晶粒尺寸及金剛石含量的影響。實驗結(jié)果表明,隨O_2流量的增加,平均晶粒尺寸從8.4nm增大至16.1nm,隨后減小至9.6nm;當(dāng)O_2流量為0.7sccm時,金剛石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸約為9.6nm。
[Abstract]:By using microwave plasma chemical vapor deposition and CH_4/H_2/Ar as gas source, the etching ability of plasma to non-diamond phase was enhanced by adjusting the flow rate of O _ (2). The content of diamond phase in ultrananocrystalline diamond films was increased, and the X-ray diffraction (XRD) was performed by scanning electron microscope (SEM). Raman spectra and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were used to characterize the morphology, growth rate, crystal shape, grain size and diamond content of ultrananocrystalline diamond films. The effect of O _ 2 flow rate on grain size and diamond content was studied. The experimental results show that the average grain size increases from 8.4 nm to 16.1 nm with the increase of O _ 2 flow rate. Then decreased to 9.6 nm; When the flow rate of O _ 2 is 0.7sccm, the content of diamond phase increases from 71.58% to 85.46, and the average grain size is about 9.6 nm.
【作者單位】： 昆明理工大學(xué)超硬材料先進(jìn)制備技術(shù)國際聯(lián)合研究中心;昆明理工大學(xué)非常規(guī)冶金教育部重點實驗室;云南民族大學(xué)化學(xué)與環(huán)境學(xué)院;昆明理工大學(xué)微波能工程應(yīng)用與裝備技術(shù)國家地方聯(lián)合工程實驗室;昆明理工大學(xué)冶金與能源工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51604134) 云南省教育廳科學(xué)研究基金(2016ZZX040) 國家國際科技合作項目對俄專項(2015DFR50620) 昆明市科技計劃項目(2014-04-A-H-02-3085)
【分類號】：TQ163
【正文快照】： (1 State International Joint Research Center of Advanced Technology for Superhard Materials,Kunming University of Scienceand Technology,Kunming 650093;2 Key Laboratory of Unconventional Metallurgy,Ministry of Education,KunmingUniversity of Science and Te

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本文編號：1473753