為了改善氧化鈰拋光液的性能,在不破壞釹玻璃表面質(zhì)量的前提下提高釹玻璃的拋光效率,選擇在氧化鈰拋光液中加入陰離子表面活性劑雷米邦A(yù),并研究了改性后的拋光液對氧化鈰拋光液中粒子粒徑、釹玻璃的材料去除率和拋光后釹玻璃表面質(zhì)量的影響,分析了加入不同質(zhì)量分?jǐn)?shù)雷米邦A(yù)的拋光液在不同pH值下對釹玻璃拋光速率和拋光質(zhì)量的影響。結(jié)果表明:雷米邦A(yù)能夠抑制拋光液中納米粒子的團(tuán)聚,降低氧化鈰的中位粒徑,提高拋光效率。當(dāng)二氧化鈰質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3%、pH為6.5、雷米邦A(yù)質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.30%時,材料去除率達(dá)到最大值169 nm/min;當(dāng)二氧化鈰質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3%、pH為7、雷米邦A(yù)質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.20%時,釹玻璃的表面粗糙度達(dá)到最小值0.9 nm。 

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引 言
2 實(shí)驗(yàn)條件與過程
    2.1 拋光液的制備
    2.2 化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)
    2.3 性能表征
3 結(jié)果與討論
    3.1 不同質(zhì)量分?jǐn)?shù)雷米邦A(yù)對氧化鈰粒子粒徑的影響
    3.2 不同質(zhì)量分?jǐn)?shù)雷米邦A(yù)對釹玻璃化學(xué)機(jī)械拋光的影響
    3.3 不同pH值雷米邦A(yù)對釹玻璃化學(xué)機(jī)械拋光效果的影響
4 結(jié) 論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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