發(fā)布時(shí)間：2021-10-10 07:29

　　微小球體是微光學(xué)、微機(jī)械等領(lǐng)域中最常見的元器件形態(tài)之一,其表面微觀形貌對(duì)于其多方面應(yīng)用特性有著重要的影響。例如,直徑介于幾百微米至幾毫米的微球型靶丸是慣性約束聚變（Inertial Confinement Fusion,ICF）實(shí)驗(yàn)的核心部件之一。靶丸表面任何微小缺陷都有可能引發(fā)不對(duì)稱壓縮,導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)效率降低,甚至打靶失敗的嚴(yán)重后果。傳統(tǒng)的球面檢測(cè)手段,如用輪廓儀、圓度儀、原子力顯微鏡進(jìn)行檢測(cè),存在著檢測(cè)效率低、容易劃傷工件表面、孤立缺陷容易遺漏等問題。光學(xué)干涉測(cè)量法具有非接觸、采樣密度高、效率高、精度高等優(yōu)點(diǎn),是較為理想的表面形貌檢測(cè)方法。但目前僅有美國和法國的相關(guān)科研機(jī)構(gòu)開展了靶丸表面形貌光學(xué)方法檢測(cè)的研究工作,分別采用移相衍射干涉和數(shù)字全息顯微的技術(shù)路線,實(shí)現(xiàn)了靶丸全表面的無遺漏檢測(cè)。而我國目前仍沿用著原子力顯微鏡旋轉(zhuǎn)掃描的傳統(tǒng)檢測(cè)方法。本文主要針對(duì)基于移相衍射干涉測(cè)量原理的靶丸全表面形貌檢測(cè)方法及關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行研究,主要研究內(nèi)容如下:針對(duì)移相衍射干涉測(cè)量方法進(jìn)行研究,并對(duì)光機(jī)結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì),提出了基于偏振控制的移相衍射干涉靶丸全表面形貌檢測(cè)方法。通過對(duì)光的傳輸過程以及干涉光路中各類光... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：133 頁

【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

典型輪廓儀測(cè)量裝置

J光切顯微鏡Fig.1-2Model9Jlight-sectionmicroscope

為 Zygo 公司的干涉儀產(chǎn)品，其中(a)為采用立式結(jié)構(gòu)的 GPI 系列測(cè)量穩(wěn)定性；(b)為采用臥式結(jié)構(gòu)的 Verifire 系列干涉儀，相對(duì)于差，但靈活度較高。圖 1-3 典型機(jī)械式移相干涉測(cè)量系統(tǒng)Fig.1-3 Classic interferometry system with mechanical phase shifting


本文編號(hào)：3427929