為開發(fā)新能源,實(shí)現(xiàn)可控的核聚變,世界各國(guó)開展了慣性約束核聚變研究。慣性約束核聚變裝置需要使用大量的光學(xué)玻璃元件,而核聚變裝置性能的提升主要受到光學(xué)玻璃元件精度和缺陷兩方面的制約。研究發(fā)現(xiàn),光學(xué)玻璃元件的損傷閾值和光學(xué)玻璃元件的表面、亞表面缺陷有直接的關(guān)系,光學(xué)元件的缺陷越少,激光通過時(shí)的能量集中效應(yīng)越小,損傷閾值就越高。因此,國(guó)際上都在研究如何優(yōu)化光學(xué)玻璃元件的加工工藝,盡可能減少表面、亞表面缺陷的產(chǎn)生,提高慣性約束核聚變裝置的性能水平。目前,氧化鈰磨削被用于IC領(lǐng)域的單晶硅片加工上,可以減少損傷和控制加工應(yīng)力,在光學(xué)玻璃元件加工領(lǐng)域研究較少。能否將這一工藝方法應(yīng)用到光學(xué)玻璃加工中,提高玻璃的抗激光損傷域值,需要深刻認(rèn)識(shí)氧化鈰磨削的材料去除機(jī)理,建立磨削的力熱模型,設(shè)計(jì)合理的工藝,達(dá)到有效減少光學(xué)元件表面亞表面缺陷的目的。因此,本文的研究工作對(duì)提高慣性約束核聚變裝置玻璃原件加工質(zhì)量和效率有著十分重要的意義。本文主要研究工作如下:1)研究了氧化鈰磨削的材料去除機(jī)理。從氧化鈰磨削過程中的機(jī)械作用和化學(xué)作用出發(fā),研究了氧化鈰砂輪磨削時(shí)可能存在的高溫化學(xué)反應(yīng),及如何產(chǎn)生較軟的變質(zhì)層,降低材料去... 

【文章來源】：國(guó)防科技大學(xué)湖南省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 課題來源及意義
        1.1.1 課題來源
        1.1.2 課題研究背景及意義
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 單晶硅片的氧化鈰超精密低損傷磨削研究
        1.2.2 光學(xué)玻璃元件的氧化鈰超精密無損傷磨削研究
    1.3 論文的主要研究?jī)?nèi)容
第二章 氧化鈰磨削機(jī)理
    2.1 機(jī)理研究方法
        2.1.1 機(jī)理研究方法
        2.1.2 物相分析原理
    2.2 機(jī)理研究實(shí)驗(yàn)
        2.2.1 實(shí)驗(yàn)條件
        2.2.2 實(shí)驗(yàn)方案設(shè)計(jì)
    2.3 機(jī)理實(shí)驗(yàn)結(jié)果
        2.3.1 組分樣品分析
        2.3.2 產(chǎn)物樣品分析
    2.4 氧化鈰磨削機(jī)理
        2.4.1 材料去除模型
        2.4.2 去除階段劃分的解釋
    2.5 本章小結(jié)
第三章 磨削力及磨削溫度
    3.1 磨削力建模
    3.2 磨削力測(cè)量試驗(yàn)
        3.2.1 試驗(yàn)條件
        3.2.2 試驗(yàn)方法
        3.2.3 測(cè)量數(shù)據(jù)及處理
    3.3 磨削力模型誤差
    3.4 磨削溫度建模
    3.5 溫度模型應(yīng)用與分析
        3.5.1 濕磨溫度估計(jì)
        3.5.2 干磨溫度估計(jì)
        3.5.3 工藝參數(shù)對(duì)溫度模型的影響
    3.6 本章小結(jié)
第四章 氧化鈰磨削試驗(yàn)
    4.1 氣動(dòng)磨頭磨削試驗(yàn)
        4.1.1 試驗(yàn)方案
        4.1.2 實(shí)驗(yàn)工藝
        4.1.3 試驗(yàn)結(jié)果
    4.2 杯形砂輪磨削試驗(yàn)
        4.2.1 試驗(yàn)方案
        4.2.2 試驗(yàn)工藝
        4.2.3 試驗(yàn)結(jié)果
    4.3 平行砂輪磨削試驗(yàn)
        4.3.1 試驗(yàn)方案
        4.3.2 試驗(yàn)工藝
        4.3.3 試驗(yàn)結(jié)果與分析一
        4.3.4 試驗(yàn)結(jié)果與分析二
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)和展望
    5.1 本文總結(jié)
    5.2 研究展望
致謝
參考文獻(xiàn)
作者在學(xué)期間取得的學(xué)術(shù)成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]超高速磨削溫度的實(shí)驗(yàn)研究[J]. 郭力,盛曉敏.  制造技術(shù)與機(jī)床. 2012(04)
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[3]磨削溫度的試驗(yàn)研究[J]. 郭力,嚴(yán)勇.  精密制造與自動(dòng)化. 2011(01)
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[7]CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究[J]. 羅寧,黃紅武,宓海青.  廈門理工學(xué)院學(xué)報(bào). 2007(03)
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[9]磨削溫度研究的現(xiàn)狀與進(jìn)展[J]. 湯艷玲,黃輝.  珠寶科技. 2003(04)
[10]求解磨削力的一種數(shù)值方法[J]. 樊社新.  金剛石與磨料磨具工程. 2002(03)

碩士論文
[1]硅片軟磨料砂輪的磨削性能研究[D]. 金釗.大連理工大學(xué) 2009
[2]超高速磨削溫度的研究[D]. 張國(guó)華.湖南大學(xué) 2006



本文編號(hào)：3185960