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基于深度學(xué)習(xí)的晶體缺陷分類檢測(cè)技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間:2021-02-24 00:28
  在高功率激光驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)中,晶體作為其中一個(gè)不可或缺的光學(xué)元件,主要作為主放大器系統(tǒng)中的普克爾斯盒(光電開關(guān))對(duì)入射光場(chǎng)進(jìn)行調(diào)制,并作為終端光學(xué)聚焦系統(tǒng)中的光束倍頻轉(zhuǎn)換器,用來產(chǎn)生紫外光;由于系統(tǒng)中晶體尺寸通常較大且數(shù)目較多,導(dǎo)致對(duì)該元件的檢測(cè)維護(hù)任務(wù)相對(duì)繁重。據(jù)統(tǒng)計(jì),美國(guó)國(guó)家點(diǎn)火裝置中所用到的410mm口徑的磷酸二氫鉀(KDP)晶體就有576塊。這些晶體在生產(chǎn)加工和應(yīng)用中往往會(huì)因?yàn)槠浔砻娲嬖谌毕荻l(fā)不同程度的、非預(yù)期性的光場(chǎng)調(diào)制、波前畸變等,嚴(yán)重時(shí)還可能破壞整個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。所以,我們應(yīng)該且亟需進(jìn)行針對(duì)晶體元件缺陷的分類檢測(cè)技術(shù)研究,F(xiàn)有的檢測(cè)技術(shù)除人眼判斷外,大多圍繞硬件設(shè)備展開;算法以傳統(tǒng)圖像處理為主,主要針對(duì)不同類型的缺陷進(jìn)行特征提取,較少有關(guān)于缺陷分類識(shí)別和定位檢測(cè)的研究;且因?yàn)榫w缺陷形貌復(fù)雜,傳統(tǒng)圖像處理算法較難提取到關(guān)鍵且客觀的特征,這在極大程度上限制了晶體缺陷檢測(cè)技術(shù)的智能化發(fā)展并同時(shí)抑制了高功率激光驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)用;诰w元件表面缺陷形貌特征豐富、種類繁多的特點(diǎn),本文提出利用深度學(xué)習(xí)模型進(jìn)行晶體缺陷分類檢測(cè);構(gòu)建了基于候選區(qū)域生成模塊和特征提取模塊(ZF net)的晶體缺... 

【文章來源】:中國(guó)工程物理研究院北京市

【文章頁數(shù)】:73 頁

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

基于深度學(xué)習(xí)的晶體缺陷分類檢測(cè)技術(shù)研究


圖2.1深度學(xué)習(xí)中的多層表征??

示意圖,生物神經(jīng)元


?深度學(xué)習(xí)擅長(zhǎng)發(fā)現(xiàn)高維數(shù)據(jù)中的錯(cuò)綜復(fù)雜的結(jié)構(gòu)關(guān)聯(lián),在科學(xué)研宄、商業(yè)工業(yè)以及??政府管控等領(lǐng)域都有表現(xiàn)出很大的潛力;本章將按照?qǐng)D2.2的邏輯順序,從“人工神經(jīng)??網(wǎng)絡(luò)”、“誤差反向傳播算法”和“卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)”等幾個(gè)方面來具體介紹深度學(xué)習(xí)。??神經(jīng)元模型??|構(gòu)??!成??有監(jiān)督訓(xùn)練/學(xué)??;S?:習(xí)??深度前饋剛n?¥廢誤紐_播算法??無監(jiān)督訓(xùn)練/學(xué)?;關(guān)鍵影響因戒??LI?I發(fā)展?習(xí)?激活函數(shù)??r構(gòu)??卷積祌經(jīng)網(wǎng)絡(luò)丨??具體結(jié)??構(gòu)??圖2.2本章內(nèi)容概括說明??2.1神經(jīng)元模型與多層感知機(jī)??圖2.3所示為生物神經(jīng)元的示意圖,它由細(xì)胞體、軸突、樹突和突觸四個(gè)結(jié)構(gòu)組成??[41]。細(xì)胞體是神經(jīng)元的控制中心,由于其細(xì)胞膜內(nèi)外的細(xì)胞液存在離子濃度差而產(chǎn)生的??電位差,被稱為膜電位;神經(jīng)元的輸入來源于與之相連的樹突(通常樹突不止一個(gè)),??不同單元間的信號(hào)都是通過樹突傳入的[42];軸突則相當(dāng)于神經(jīng)元輸出端;突觸可以被看??作是一個(gè)接口,能夠保證神經(jīng)元間的通信功能[43]。信號(hào)傳遞時(shí),一個(gè)神經(jīng)元可以接收來??自多個(gè)神經(jīng)元軸突末端的電位變化,這些電位變化以不同的權(quán)重在突觸上累加,當(dāng)電位??達(dá)到閾值時(shí),該神經(jīng)元將被激活產(chǎn)生興奮,即輸出信號(hào)[441。??來自他神經(jīng)元軸突神經(jīng)木梢??^?j、神經(jīng)末梢??細(xì)胞核??T??圖2.3生物神經(jīng)元結(jié)構(gòu)??

人工神經(jīng)元,模型結(jié)構(gòu)


?受上述模型的啟發(fā),McCulloch和Pitts提出一種“人工神經(jīng)元的邏輯運(yùn)算數(shù)學(xué)模型??(M-P模型)”M。其模型結(jié)構(gòu)如圖2.4所示,其中,第個(gè)神經(jīng)元獲得的輸入信號(hào)(i叩ut)??為ii=U,2,...,n},第i個(gè)輸入和第>個(gè)神經(jīng)元之間的連接權(quán)重(weight)為vv^;第y個(gè)神經(jīng)元??的閾值為6/;?/(_)為激活函數(shù)(activation?function);?yy則代表輸出;所以該節(jié)點(diǎn)單元獲得??的超過閾值的信號(hào)激勵(lì)為:??Uj?=?Sf=i?WijXi?-?bj?(2-1)??若將閾值6/當(dāng)成神經(jīng)兀以X〇?=?_1作為輸入時(shí)的權(quán)重Wy?(文中統(tǒng)一對(duì)閾值做此處理,后??不再重新聲明),則上式可簡(jiǎn)化為:??Uj?=?Sf=〇?WijXi?(2-2)??神經(jīng)元被激活時(shí)產(chǎn)生的輸出可以表示為:??yj?=?/(u;)?(2-3)??從式2-2和2-3不難看出,M-P模型是一個(gè)具有空間整合性和閾值特性的映射單元,它??可以接受多個(gè)信號(hào)輸入,并通過控制調(diào)整權(quán)重將結(jié)果處理為單個(gè)的、具有正負(fù)號(hào)標(biāo)識(shí)的??信號(hào),再進(jìn)行輸出。通過這種方式,M-P模型可以近似模擬生物神經(jīng)元節(jié)點(diǎn)的“興奮和??抑制”?[46]。??Xl??WU??Xn?Wnj?W〇j?=?bj??X〇?=?-1??圖2.4人工神經(jīng)元模型結(jié)構(gòu)??最初的M-P模型中,激活函數(shù)/(;+)(如式(2-句)只是一個(gè)二值離散量,統(tǒng)一用邏輯??上的0


本文編號(hào):3048483

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