【摘要】：隨著科技與社會的發(fā)展,精密、超精密光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用日益廣泛。光學(xué)元件表面疵病是影響光學(xué)系統(tǒng)外觀和性能的主要因素之一。光學(xué)元件表面疵病的高精度檢測是實現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)精密、超精密加工的關(guān)鍵之一。本論文分析了現(xiàn)有光學(xué)元件表面疵病檢測技術(shù)國內(nèi)外研發(fā)現(xiàn)狀,針對現(xiàn)有檢測技術(shù)可測疵病數(shù)量少和檢測精度低的不足,基于光學(xué)元件表面散射成像技術(shù)和多光譜技術(shù),提出了多光譜光學(xué)元件表面疵病檢測技術(shù)。在此基礎(chǔ)上,設(shè)計和搭建了一套多光譜光學(xué)元件表面疵病檢測系統(tǒng)。利用該系統(tǒng)進(jìn)行的比對實驗表明,采用多光譜光學(xué)顯微散射成像和多光譜圖像融合技術(shù),可以明顯提高光學(xué)元件表面疵病的可測數(shù)量和檢測精度。針對低對比度圖像中疵病邊緣特征難以提取的問題,提出采用各向異性擴(kuò)散濾波算法改進(jìn)傳統(tǒng)Canny邊緣檢測法中的濾波算法。實驗結(jié)果表明,采用改進(jìn)的算法,可以精確提取低對比度圖像中疵病邊緣,提取效果優(yōu)于傳統(tǒng)算法。
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TP391.41;TL632.1
【圖文】：

緒論逡逑傷閥值，極易導(dǎo)致NB學(xué)元件受到激光損傷，對系統(tǒng)造成危害，導(dǎo)致系統(tǒng)不能正常運行Ｗ。逡逑ＮW'系統(tǒng)基本光路如圖１．２所示。逡逑Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ逡逑Ｐｏｗｅｒ邐卻邋ｓｔｉ＂逡逑Ａ端＂Ｓ邋}B匈逡逑＾Ｐｏｉａｒｉｉｔｒ邐Ａｓｓｅｍｂｌｙ逡逑圖１．２ＮＩＦ基本光路圍逡逑隨著激光能量密度的增加，激光損傷區(qū)域會不斷增加，在Ｎ正系統(tǒng)王倍頻段的激光能逡逑量密度最高為１０／／0ｎ２，表面疵病降低材料激光損傷閥值是限制系統(tǒng)激光能量密度的主要逡逑因素之一。激光損傷區(qū)域隨激光能量密度的變化如圖１．３所示。逡逑４邋６ｗ‘ｃｍ＇邐５邋６Ｊ化ｍ＊－邐７邋６Ｊ／《：訊？邐TB．＂Ｕ／ｃｍ；逡逑n姦恟�。鐦F！y椋簦椋殄義希保卞澹矗剩錚恚掊危玻由劍悖恚у巍鰣澹㈠澹В澹у危保福保剩族危義廈笱�；，川毛k義賢跡保臣す饉鶘飼蟈義瞎庋г礱媧貌〔喚齷岫愿吖β使?fàn)C寮す庾爸玫腦誦脅：Γ酥饣乖諂淥義戲矯娌宋：Γ哄義�？峨s諂脹ü庋低橙縵允酒�，照相机谍x庋г礱媧貌』岫云渫夤鄄跋歟義鮮腔靜換岫韻低車墓δ懿：�。辶x希慷雜冢綴焱庖故酉低澄淼墓庋低�，光学元件钡a媧貌』嶠檔拖低車男旁氡�。討亓x嫌詮庋г礱媧貌〉某嘰縭拷飾⒚祝焱獠ǔね⒚琢考�。根舅|停椋逕⑸溴義俠礪

本文編號：2721081