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51. 新型MEMS器件電子封裝技術(shù)的研究
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52. MEMS慣性組合自標(biāo)定與應(yīng)用
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53. 基于MEMS的人體運(yùn)動(dòng)信息采集系統(tǒng)
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54. MEMS陀螺隨機(jī)誤差辨識(shí)與降噪技術(shù)
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55. 高過(guò)載MEMS環(huán)形陀螺制造與測(cè)試
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56. 基于MEMS器件的慣性測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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57. MEMS行波超聲電機(jī)啟動(dòng)特性研究
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58. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究
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59. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究
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60. MEMS集成復(fù)合磁芯雙層平面電感研究
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