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461. 基于MEMS的輕量型位姿測量系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究
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462. 基于氮化鋁的壓電諧振式MEMS加度計研究
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463. 非晶合金MEMS引信安全機(jī)構(gòu)超塑性成形的關(guān)鍵技術(shù)研究
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464. 基于MEMS的熱式風(fēng)速及風(fēng)量檢測技術(shù)及單元研究
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465. 基于MEMS慣性傳感器的AHRS系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究
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466. 基于MEMS慣性傳感器的人體步態(tài)分析關(guān)鍵技術(shù)研究
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467. MEMS慣性導(dǎo)航定位系統(tǒng)方位角長時間精度保持技術(shù)
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468. 基于RF MEMS開關(guān)的相控陣天線的設(shè)計研究
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469. MEMS加速度記錄在地震預(yù)警中的應(yīng)用研究
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470. 工藝誤差導(dǎo)致的電容式MEMS諧振器性能變化研究
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