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181. 基于MEMS微鏡的量子點(diǎn)薄膜成像研究
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182. 基于MEMS陀螺的地平儀設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
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183. MEMS矢量水聽器的優(yōu)化設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
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184. 基于相移干涉法的MEMS離面運(yùn)動(dòng)測(cè)量
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185. 基于MEMS工藝的陶瓷薄膜熱電偶研制
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186. 基于MEMS傳感器的奶牛姿態(tài)識(shí)別研究
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187. MEMS陀螺在片自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)開發(fā)
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188. 基于激光雷達(dá)的二維MEMS微鏡驅(qū)動(dòng)研究
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189. 硅基壓電MEMS球形矢量水聽器設(shè)計(jì)
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190. 旋轉(zhuǎn)彈用MEMS陀螺結(jié)構(gòu)優(yōu)化及性能測(cè)試
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