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141. MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)設(shè)計
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142. MEMS微驅(qū)動器的設(shè)計、工藝及應(yīng)用
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143. 高精度石英全息透鏡的MEMS工藝制作
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144. 三軸數(shù)字MEMS加速度計現(xiàn)場標(biāo)定方法
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145. MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究
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146. MEMS角振動陀螺的結(jié)構(gòu)建模與仿真分析
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147. MEMS慣組抗高g值沖擊設(shè)計方法
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148. MEMS壓阻式壓力傳感器技術(shù)研究
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149. 用于三維成像激光雷達(dá)的MEMS掃描鏡研究
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150. 微熱板氣體傳感器的MEMS工藝研究
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