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131. MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)設計

132. MEMS微驅動器的設計、工藝及應用

133. 高精度石英全息透鏡的MEMS工藝制作

134. 三軸數(shù)字MEMS加速度計現(xiàn)場標定方法

135. MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究

136. MEMS角振動陀螺的結構建模與仿真分析

137. MEMS慣組抗高g值沖擊設計方法

138. MEMS壓阻式壓力傳感器技術研究

139. 用于三維成像激光雷達的MEMS掃描鏡研究

140. 微熱板氣體傳感器的MEMS工藝研究