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121. BDS/MEMS融合測(cè)姿算法研究
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122. MEMS數(shù)字陀螺儀測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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123. 表面工藝靜電驅(qū)動(dòng)MEMS變形鏡關(guān)鍵技術(shù)研究
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124. MEMS穿孔板微執(zhí)行器Pull
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125. 基于電熱驅(qū)動(dòng)的MEMS繼電器的研制
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126. MEMS陀螺儀組合系統(tǒng)及濾波算法設(shè)計(jì)
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127. 基于MEMS的皮拉尼真空壓力計(jì)研究
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128. MEMS數(shù)字陀螺中開關(guān)電容檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)
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129. 基于MEMS器件的航向姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)的研究
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130. 新型雙驅(qū)動(dòng)RF MEMS開關(guān)機(jī)電特性分析
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