本文關(guān)鍵詞：有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器制備工藝的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：有機(jī)場效應(yīng)晶體管(Organic Field Effect Transistor)氣體傳感器作為近年來廣受人們關(guān)注的一種新型的氣體傳感器,具有體積小、制備工藝簡單、集成度高等優(yōu)點(diǎn)備受人們的青睞。酞菁銅有機(jī)半導(dǎo)體材料較其他材料更具優(yōu)良的熱穩(wěn)定性與化學(xué)穩(wěn)定性,并有還具備出色的氣敏特性,因此很多研究都落在了將其應(yīng)用于氣體傳感器上。本文以酞菁銅作為有機(jī)半導(dǎo)體材料,開展了對(duì)有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的制備工藝及應(yīng)用的基礎(chǔ)研究。主要內(nèi)容如下:制備了叉指電極結(jié)構(gòu)的酞菁銅有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器,對(duì)制備過程進(jìn)行詳細(xì)的描述,并通過對(duì)酞菁銅薄膜進(jìn)行280℃、300℃和320℃的退火處理比較器件之間的性能差異。采用犧牲層技術(shù)制備具有空氣絕緣層結(jié)構(gòu)的有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器,并且最終確定了空氣絕緣層有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的制備工藝條件。采用叉指電極結(jié)構(gòu)和空氣絕緣層結(jié)構(gòu)的有機(jī)場效應(yīng)晶體管分別對(duì)NO2氣體進(jìn)行測試,并將兩種不同結(jié)構(gòu)器件的測試結(jié)果進(jìn)行對(duì)比。
【關(guān)鍵詞】：氣體傳感器 有機(jī)場效應(yīng)晶體管 酞菁銅 空氣絕緣層
【學(xué)位授予單位】：黑龍江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN386;TP212
【目錄】：

• 中文摘要3-4
• Abstract4-7
• 第一章 緒論7-14
• 1.1 引言7-8
• 1.2 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的研究現(xiàn)狀8-12
• 1.2.1 有機(jī)場效應(yīng)晶體管8
• 1.2.2 有機(jī)場效應(yīng)晶體管國外研究進(jìn)展8-11
• 1.2.3 有機(jī)場效應(yīng)晶體管國內(nèi)研究進(jìn)展11-12
• 1.3 論文的選題及主要的研究工作12-14
• 第二章 有機(jī)場效應(yīng)晶體管的工作原理和制備工藝14-23
• 2.1 有機(jī)場效應(yīng)晶體管14-19
• 2.1.1 有機(jī)場效應(yīng)晶體管簡介14-15
• 2.1.2 有機(jī)場效應(yīng)晶體管的工作原理15-16
• 2.1.3 有機(jī)場效應(yīng)晶體管的基本參數(shù)16-18
• 2.1.4 有機(jī)場效應(yīng)晶體管的制備材料的選擇18-19
• 2.2 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器19-21
• 2.2.1 氣體傳感器常用參數(shù)19-20
• 2.2.2 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的工作原理20-21
• 2.3 測試系統(tǒng)的建立21-22
• 2.4 本章小結(jié)22-23
• 第三章 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的制備23-43
• 3.1 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的制備過程23-32
• 3.1.1 襯底的選擇23
• 3.1.2 絕緣層的制備23-24
• 3.1.3 電極的制備24-28
• 3.1.4 有機(jī)半導(dǎo)體層材料的制備28-32
• 3.1.5 對(duì)器件進(jìn)行封裝32
• 3.2 空氣絕緣層結(jié)構(gòu)有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的制備過程32-42
• 3.2.1 襯底的選擇33-34
• 3.2.2 電極的制備34
• 3.2.3 犧牲層的制備34-39
• 3.2.4 有源層的制備39-40
• 3.2.5 源漏電極的制備40-41
• 3.2.6 懸空結(jié)構(gòu)的釋放41-42
• 3.2.7 器件的封裝42
• 3.3 本章小結(jié)42-43
• 第四章 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的電學(xué)特性以及氣敏特性的研究43-52
• 4.1 有機(jī)場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的性能分析43-48
• 4.1.1 叉指電極結(jié)構(gòu)CuPc場效應(yīng)晶體管的電學(xué)特性研究43-46
• 4.1.2 空氣絕緣層結(jié)構(gòu)CuPc場效應(yīng)晶體管的電學(xué)特性研究46-48
• 4.2 Cu Pc場效應(yīng)晶體管氣體傳感器的氣敏特性研究48-51
• 4.2.1 相同濃度NO_2中CuPc OFET氣敏特性48-49
• 4.2.2 不同濃度NO_2中空氣絕緣層結(jié)構(gòu)CuPc OFET氣敏特性研究49-51
• 4.3 本章小結(jié)51-52
• 第五章 結(jié)論52-54
• 參考文獻(xiàn)54-60
• 致謝60-61

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