【摘要】：提出了一種新型結(jié)構(gòu)的法布里-珀羅(F-P)腔光纖壓力傳感器。該傳感器基于法布里-珀羅多光束干涉,利用壓力敏感膜的縱向撓度變化帶動(dòng)位移柱的橫向位移運(yùn)動(dòng)來改變F-P腔的腔長變化。詳細(xì)闡述了傳感器新結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法及其工作原理,分析了不同參數(shù)對傳感器性能的影響。采用ANSYS軟件仿真模擬了傳感器壓力敏感膜在壓力作用下的撓度變化。結(jié)合現(xiàn)有的MEMS工藝,可制作出工藝簡單、溫度系數(shù)低、靈敏度高,且抗電磁干擾的MEMS光纖壓力傳感器。
【作者單位】： 南京信息工程大學(xué)江蘇省大氣環(huán)境與裝備技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心;南京信息工程大學(xué)江蘇省氣象探測與信息處理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;南京信息工程大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61307061) 江蘇高校優(yōu)勢學(xué)科Ⅱ期建設(shè)工程項(xiàng)目
【分類號】：TP212

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