【摘要】：新型短波紅外單片集成光譜傳感器(MCSS)是光譜傳感物聯(lián)網(wǎng)的核心感知部件.提出了一種MCSS的波長(zhǎng)定標(biāo)方法,根據(jù)相對(duì)光譜響應(yīng)度和波長(zhǎng)分配原則把相鄰像素組成一個(gè)定標(biāo)通道.分別采用MCSS和兩款商用光譜儀測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的光譜.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,平均定標(biāo)偏差為1.8 nm,與一款具有相似FWHM和取樣間隔的商用光譜儀接近,能夠滿足實(shí)際應(yīng)用的需要.
[Abstract]:A novel short-wave infrared monolithic integrated spectrum sensor (MCSS) is the core sensing component of the spectral sensor Internet of things. In this paper, a wavelength calibration method for MCSS is proposed. According to the relative spectral responsivity and wavelength assignment principle, adjacent pixels are formed into a calibration channel. MCSS and two commercial spectrometers were used to measure the spectra of reference materials. The experimental results show that the average calibration deviation is 1. 8 nm, which is close to that of a commercial spectrometer with similar FWHM and sampling intervals, which can meet the needs of practical application.
【作者單位】： 山東大學(xué)光學(xué)高等研究中心;山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;山東大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：Supported by the National Nature Science Foundation of China(61376052) the Project of State Key Laboratories of Transducer Technology(SKT1507)
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：2179289