【摘要】：新型短波紅外單片集成光譜傳感器(MCSS)是光譜傳感物聯網的核心感知部件.提出了一種MCSS的波長定標方法,根據相對光譜響應度和波長分配原則把相鄰像素組成一個定標通道.分別采用MCSS和兩款商用光譜儀測量標準物質的光譜.實驗結果表明,平均定標偏差為1.8 nm,與一款具有相似FWHM和取樣間隔的商用光譜儀接近,能夠滿足實際應用的需要.
[Abstract]:A novel short-wave infrared monolithic integrated spectrum sensor (MCSS) is the core sensing component of the spectral sensor Internet of things. In this paper, a wavelength calibration method for MCSS is proposed. According to the relative spectral responsivity and wavelength assignment principle, adjacent pixels are formed into a calibration channel. MCSS and two commercial spectrometers were used to measure the spectra of reference materials. The experimental results show that the average calibration deviation is 1. 8 nm, which is close to that of a commercial spectrometer with similar FWHM and sampling intervals, which can meet the needs of practical application.
【作者單位】： 山東大學光學高等研究中心;山東大學晶體材料國家重點實驗室;山東大學信息科學與工程學院;中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所傳感技術聯合國家重點實驗室;中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室;
【基金】：Supported by the National Nature Science Foundation of China(61376052) the Project of State Key Laboratories of Transducer Technology(SKT1507)
【分類號】：TP212

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本文編號：2179289