發(fā)布時(shí)間：2018-03-28 00:02

  本文選題：薄膜　切入點(diǎn)：多層膜設(shè)計(jì)　出處：《光學(xué)學(xué)報(bào)》2017年06期

【摘要】：提出了一種基于實(shí)數(shù)編碼量子進(jìn)化算法(RQEA)的寬角度極紫外(EUV)多層膜理論膜系的設(shè)計(jì)方法。采用基于實(shí)數(shù)編碼的遺傳算法(RGA)和RQEA對(duì)寬角度Mo/Si多層膜進(jìn)行了理論設(shè)計(jì)和分析,發(fā)現(xiàn)RQEA具有種群規(guī)模小、搜索效率高和求解精度高的明顯優(yōu)勢(shì),體現(xiàn)出RQEA在光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)領(lǐng)域的潛在應(yīng)用價(jià)值。同時(shí),設(shè)計(jì)出入射光波長(zhǎng)為13.5nm、在入射角0°~18°范圍內(nèi)反射率可達(dá)50%的寬反射帶Mo/Si多層膜。
[Abstract]:In this paper, a design method of multilayer membrane system based on real coded quantum evolutionary algorithm (RQEAA) is proposed. The theory of wide angle Mo/Si multilayer film is designed and analyzed by using real coded genetic algorithm (RGA) and RQEA. It is found that RQEA has the advantages of small population size, high searching efficiency and high precision, which shows the potential application value of RQEA in the field of optical thin film design. A wide-band Mo/Si multilayer with an incident wavelength of 13.5 nm and a reflectivity of up to 50% in the angle of incidence of 0 擄~ 18 擄is designed.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金(61405189) 吉林省科技發(fā)展計(jì)劃(20150101019JC)
【分類號(hào)】：TB383.2;TP18

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本文編號(hào)：1673831