發(fā)布時間：2018-03-28 00:02

  本文選題：薄膜　切入點：多層膜設計　出處：《光學學報》2017年06期

【摘要】：提出了一種基于實數(shù)編碼量子進化算法(RQEA)的寬角度極紫外(EUV)多層膜理論膜系的設計方法。采用基于實數(shù)編碼的遺傳算法(RGA)和RQEA對寬角度Mo/Si多層膜進行了理論設計和分析,發(fā)現(xiàn)RQEA具有種群規(guī)模小、搜索效率高和求解精度高的明顯優(yōu)勢,體現(xiàn)出RQEA在光學薄膜設計領域的潛在應用價值。同時,設計出入射光波長為13.5nm、在入射角0°~18°范圍內反射率可達50%的寬反射帶Mo/Si多層膜。
[Abstract]:In this paper, a design method of multilayer membrane system based on real coded quantum evolutionary algorithm (RQEAA) is proposed. The theory of wide angle Mo/Si multilayer film is designed and analyzed by using real coded genetic algorithm (RGA) and RQEA. It is found that RQEA has the advantages of small population size, high searching efficiency and high precision, which shows the potential application value of RQEA in the field of optical thin film design. A wide-band Mo/Si multilayer with an incident wavelength of 13.5 nm and a reflectivity of up to 50% in the angle of incidence of 0 擄~ 18 擄is designed.
【作者單位】： 長春理工大學理學院;中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金青年基金(61405189) 吉林省科技發(fā)展計劃(20150101019JC)
【分類號】：TB383.2;TP18

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本文編號：1673831