本文選題：飛秒激光　切入點：化學腐蝕　出處：《科學通報》2016年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：光纖微納結構傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、抗電磁干擾和靈敏度高等優(yōu)點,已成為各領域不可或缺的傳感器件.本文簡要介紹了飛秒激光改性區(qū)選擇性化學腐蝕加工光纖微納結構的方法,并根據(jù)傳感器工作原理,將所得傳感器件分為干涉型、衍射型和復合型3種.重點闡述了各類型器件的結構和性能,并對運用該方法制作的光纖微納結構進行總結和展望.
[Abstract]:Optical fiber sensor for micro nano structure has the advantages of small volume, light weight, anti electromagnetic interference and high sensitivity, has become indispensable in the areas of sensor. This paper briefly introduces the change of femtosecond laser selective chemical etching processing of fiber micro nano structure method, and according to the working principle of the sensor, the sensor is divided into interference. Diffraction type and composite type 3. Focusing on the structure and properties of various types of devices, and making use of the method of optical fiber micro nano structure are summarized and reviewed.

【作者單位】： 中南大學高性能復雜制造國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(91123035,91323301,51475482,51335011,51475481) 國家重點基礎研究發(fā)展計劃(2011CB013000) 教育部“新世紀優(yōu)秀人才支持計劃”(NCET-12-0548)資助
【分類號】：TP212

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本文編號：1640737