本文關(guān)鍵詞：面向電容式傳感器線性度標定的柔性微動機構(gòu)設(shè)計

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【摘要】：針對光學(xué)精密工程中位移檢測問題,研制了一種電容式位移傳感器線性度標定裝置。闡明了標定裝置的組成和標定方法的原理,該裝置采用運動軸、測量軸和傳感軸三軸共線的設(shè)計方案,從測量原理上降低了阿貝誤差。基于偽剛體模型和拉格朗日方程建立了機構(gòu)位移、剛度、強度和固有頻率的理論模型,為機構(gòu)優(yōu)化設(shè)計提供理論依據(jù)。計算和仿真結(jié)果表明理論模型和有限元分析誤差分別為3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。試驗結(jié)果表明行程測試值與理論值、有限元計算值的誤差分別為9.254%和13.524%,剛度測試值與理論值、有限元計算值的誤差分別為8.472%和11.914%。標定后傳感器測試線性度由0.057 48%提高至0.004 39%,測試精度改善明顯,能夠滿足光學(xué)精密位移測試需求。表明所搭建的標定裝置有效,且建立的機構(gòu)理論模型和分析方法可信。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室超精密光學(xué)工程研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61504142) 國家科技重大專項基金(2009ZX02205)項目資助
【分類號】：TP212
【正文快照】：

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本文編號：1139360