發(fā)布時(shí)間：2017-11-04 12:14

  本文關(guān)鍵詞：面向電容式傳感器線性度標(biāo)定的柔性微動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)

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【摘要】：針對(duì)光學(xué)精密工程中位移檢測(cè)問題,研制了一種電容式位移傳感器線性度標(biāo)定裝置。闡明了標(biāo)定裝置的組成和標(biāo)定方法的原理,該裝置采用運(yùn)動(dòng)軸、測(cè)量軸和傳感軸三軸共線的設(shè)計(jì)方案,從測(cè)量原理上降低了阿貝誤差�；趥蝿傮w模型和拉格朗日方程建立了機(jī)構(gòu)位移、剛度、強(qiáng)度和固有頻率的理論模型,為機(jī)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)提供理論依據(jù)。計(jì)算和仿真結(jié)果表明理論模型和有限元分析誤差分別為3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。試驗(yàn)結(jié)果表明行程測(cè)試值與理論值、有限元計(jì)算值的誤差分別為9.254%和13.524%,剛度測(cè)試值與理論值、有限元計(jì)算值的誤差分別為8.472%和11.914%。標(biāo)定后傳感器測(cè)試線性度由0.057 48%提高至0.004 39%,測(cè)試精度改善明顯,能夠滿足光學(xué)精密位移測(cè)試需求。表明所搭建的標(biāo)定裝置有效,且建立的機(jī)構(gòu)理論模型和分析方法可信。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61504142) 國家科技重大專項(xiàng)基金(2009ZX02205)項(xiàng)目資助
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】：

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本文編號(hào)：1139360