本文關(guān)鍵詞：利用SECM直接模式實(shí)現(xiàn)導(dǎo)體表面微區(qū)可控加工

  更多相關(guān)文章： 掃描電化學(xué)顯微鏡 鉑 微區(qū)電沉積 ITO 微區(qū)刻蝕

【摘要】：掃描電化學(xué)顯微鏡(SECM)具有操作簡(jiǎn)便、分辨率高、快捷高效、成本較低等優(yōu)點(diǎn),SECM在微區(qū)加工中具有顯著的優(yōu)勢(shì)。本論文利用SECM直接模式研究了導(dǎo)體表面的微區(qū)可控加工。本論文主要研究工作包括：(1) 利用SECM直接模式在玻碳片上實(shí)現(xiàn)了金屬鉑的微區(qū)可控沉積,研究了沉積電位、沉積時(shí)間、氯鉑酸濃度等對(duì)微區(qū)沉積輪廓尺寸和微觀顆粒形貌的影響,發(fā)現(xiàn)沉積點(diǎn)的顆粒形貌具有梯度變化的特點(diǎn),顆粒大小隨著沉積條件的變化而變化。沉積電位主要影響輪廓直徑；而沉積時(shí)間主要影響膜層厚度�；诖艘虼送ㄟ^調(diào)控相關(guān)工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)了金屬鉑在玻碳表面的微區(qū)可控沉積。利用SECM的基體產(chǎn)生-探針收集(SG-TC)模式對(duì)鉑沉積層的析氫性能進(jìn)行了探究,發(fā)現(xiàn)該方法沉積的鉑層具有良好的析氫性能。(2) 將濕法刻蝕與SECM直接模式相結(jié)合實(shí)現(xiàn)了ITO導(dǎo)電玻璃的微區(qū)可控刻蝕,發(fā)現(xiàn)這種方法在基體所研究的全電位范圍內(nèi)都能實(shí)現(xiàn)ITO的刻蝕,并對(duì)刻蝕機(jī)理進(jìn)行了分析。認(rèn)為在基體的陽(yáng)極電位范圍內(nèi)主要通過陽(yáng)極溶解反應(yīng)實(shí)現(xiàn)刻蝕,陰極電位區(qū)域內(nèi)通過探針在微區(qū)范圍內(nèi)形成強(qiáng)酸性和強(qiáng)氧化性環(huán)境使ITO薄膜溶解而產(chǎn)生刻蝕。上述微區(qū)刻蝕方法方便快捷、成本低,無需掩膜一步形成微米尺度的圖案化,并且不會(huì)破壞微區(qū)外的其它基底表面,為導(dǎo)電基體表面微區(qū)加工提供了一種新的方法。
【關(guān)鍵詞】：掃描電化學(xué)顯微鏡 鉑 微區(qū)電沉積 ITO 微區(qū)刻蝕
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TH742
【目錄】：

• 致謝5-7
• 摘要7-8
• Abstract8-13
• 第一章 緒論13-39
• 1.1 SECM的發(fā)展概況13-14
• 1.2 SECM的實(shí)驗(yàn)裝置14-16
• 1.3 SECM的工作原理16-19
• 1.4 SECM的工作模式19-21
• 1.5 SECM在微區(qū)加工中的應(yīng)用21-31
• 1.5.1 SECM在微區(qū)沉積中的應(yīng)用21-29
• 1.5.2 SECM在微區(qū)刻蝕中的應(yīng)用29-31
• 1.6 本論文的研究目的與意義31
• 參考文獻(xiàn)31-39
• 第二章 實(shí)驗(yàn)部分39-45
• 2.1 實(shí)驗(yàn)試劑及基體39-40
• 2.1.1 化學(xué)試劑39
• 2.1.2 實(shí)驗(yàn)用基體及表面前處理39-40
• 2.1.3 二茂鐵甲醇溶液配制40
• 2.1.4 鉑沉積液的配制40
• 2.1.5 ITO刻蝕液的配制40
• 2.2 實(shí)驗(yàn)用SECM裝置40-43
• 2.2.1 探針40-41
• 2.2.2 SECM裝置41-43
• 2.3 表征方法43-45
• 2.3.1 循環(huán)伏安(CV)測(cè)試43
• 2.3.2 逼近曲線(Approach Curve)43
• 2.3.3 掃描電子顯微鏡(SEM)43
• 2.3.4 沉積膜厚度及刻蝕深度測(cè)試43
• 2.3.5 線性掃描伏安(LSV)測(cè)試43-44
• 2.3.6 SECM基底產(chǎn)生-探針收集(SG-TC)模式測(cè)試44-45
• 第三章 基于SECM直接模式實(shí)現(xiàn)金屬鉑的微區(qū)可控沉積45-65
• 3.1 引言45-46
• 3.2 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容及方法46-47
• 3.2.1 微區(qū)電沉積金屬鉑的方法46-47
• 3.2.2 微區(qū)沉積的影響因素47
• 3.2.3 微區(qū)沉積膜層的表征47
• 3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論47-61
• 3.3.1 鉑超微電極的表征47-49
• 3.3.2 不同電位對(duì)微區(qū)沉積金屬鉑的影響49-53
• 3.3.3 不同時(shí)間對(duì)微區(qū)沉積金屬鉑的影響53-56
• 3.3.4 不同氯鉑酸濃度對(duì)微區(qū)沉積金屬鉑的影響56-59
• 3.3.5 利用SECM的SG-TC模式測(cè)試鉑微區(qū)沉積層的析氫性能59-61
• 3.4 本章小結(jié)61
• 參考文獻(xiàn)61-65
• 第四章 基于SECM直接模式全電位范圍微區(qū)刻蝕ITO玻璃65-75
• 4.1 引言65-66
• 4.2 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容及方法66-67
• 4.2.1 微區(qū)刻蝕ITO的方法66
• 4.2.2 微區(qū)刻蝕的測(cè)試條件66
• 4.2.3 微區(qū)刻蝕膜層的表征66-67
• 4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論67-71
• 4.3.1 全電位范圍微區(qū)刻蝕的實(shí)現(xiàn)67-70
• 4.3.2 全電位范圍微區(qū)刻蝕機(jī)理70-71
• 4.4 本章小結(jié)71
• 參考文獻(xiàn)71-75
• 第五章 總結(jié)與展望75-77
• 5.1 總結(jié)75
• 5.2 展望75-77
• 附錄77

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 魏坤峰;;城鎮(zhèn)微區(qū)改土綠化[J];中國(guó)園林;1991年01期

2 蔡元峰;潘宇觀;薛紀(jì)越;;微區(qū)衍射術(shù)在地質(zhì)學(xué)研究領(lǐng)域中的應(yīng)用[J];常熟理工學(xué)院學(xué)報(bào);2006年02期

3 徐新聞;戴顯熹;;半導(dǎo)體基片無損微區(qū)測(cè)量新方法 Ⅰ消發(fā)散技術(shù)[J];青島建筑工程學(xué)院學(xué)報(bào);1992年04期

4 許濤;羅立強(qiáng);;原位微區(qū)X射線熒光光譜分析裝置與技術(shù)研究進(jìn)展[J];巖礦測(cè)試;2011年03期

5 戚繼皋,樊培麗,董俊明;高頻焊管微區(qū)腐蝕電位分布[J];西安交通大學(xué)學(xué)報(bào);1994年04期

6 宋衛(wèi)杰;葛良全;楊健;張幫;殷經(jīng)鵬;;微束微區(qū)X熒光探針分析儀在礦石微粒分析中的應(yīng)用[J];核電子學(xué)與探測(cè)技術(shù);2009年04期

7 孫以材;王偉;屈懷泊;;四探針電阻率微區(qū)測(cè)量改進(jìn)的Rymaszewski法厚度修正[J];納米技術(shù)與精密工程;2008年06期

8 趙永椿;張軍營(yíng);王宗華;李揚(yáng);丁峰;鄭楚光;;高鈣飛灰的礦物學(xué)組成及微區(qū)特征研究[J];工程熱物理學(xué)報(bào);2008年08期

9 胡仲翔,呂士仁,李強(qiáng);微區(qū)脈沖焊修技術(shù)用于模具修復(fù)[J];新技術(shù)新工藝;1997年04期

10 徐寧光，陸惠峰;微區(qū)位移場(chǎng)的SEM散斑測(cè)量方法研究[J];西南交通大學(xué)學(xué)報(bào);1995年04期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 梁新宇;李莉;邱楓;楊玉良;;分子釘扎誘導(dǎo)多組分囊泡側(cè)向相分離的研究[A];第十次中國(guó)生物物理學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

2 李咸亨;;臺(tái)北市震度微區(qū)圖在建筑防災(zāi)之運(yùn)用[A];海峽兩岸減輕災(zāi)害與可持續(xù)發(fā)展論文專輯[C];2000年

3 蔣曉紅;王德坤;王華;杜祖亮;;并三噻吩二酸的微區(qū)結(jié)構(gòu)及其性能的研究[A];2011中國(guó)材料研討會(huì)論文摘要集[C];2011年

4 程昊;周祖翼;;石榴石微區(qū)化學(xué)組成與結(jié)構(gòu)關(guān)系及其意義[A];2004年全國(guó)巖石學(xué)與地球動(dòng)力學(xué)研討會(huì)論文摘要集[C];2004年

5 祝禧艷;陳福坤;楊一增;胡蓉;;微區(qū)-微量樣品Rb-Sr同位素分析技術(shù)及其應(yīng)用前景[A];中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所第十屆（2010年度）學(xué)術(shù)年會(huì)論文集(中)[C];2011年

6 陳京一;朱曉東;;油漆碎片的微區(qū)XRD衍射分析[A];中國(guó)晶體學(xué)會(huì)第四屆全國(guó)會(huì)員代表大會(huì)暨學(xué)術(shù)會(huì)議學(xué)術(shù)論文摘要集[C];2008年

7 張瑞潔;張翼;;磷脂微區(qū)結(jié)構(gòu)對(duì)β-Amyloid多肽聚集體行為誘導(dǎo)作用的現(xiàn)場(chǎng)觀察[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第27屆學(xué)術(shù)年會(huì)第16分會(huì)場(chǎng)摘要集[C];2010年

8 ;LA-ICP-MS在地學(xué)中的應(yīng)用研究[A];2008年度中國(guó)地質(zhì)科技新進(jìn)展和地質(zhì)找礦新成果資料匯編[C];2008年

9 孫潤(rùn)廣;張靜;齊浩;;脂筏與脂質(zhì)微囊的拆離與重建研究[A];第十次中國(guó)生物物理學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

10 陳繼民;陽(yáng)建華;張率;左鐵釧;;激光微區(qū)燒結(jié)微成形技術(shù)研究[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2005年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 楊惠晴　張淑勝;大洋熱液樣品微區(qū)尺度研究獲進(jìn)展[N];中國(guó)國(guó)土資源報(bào);2013年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 梁新宇;多組分囊泡的相分離和形變動(dòng)力學(xué)[D];復(fù)旦大學(xué);2007年

2 楊健;微束微區(qū)X射線熒光礦物探針研制[D];成都理工大學(xué);2011年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 趙艷麗;利用SECM直接模式實(shí)現(xiàn)導(dǎo)體表面微區(qū)可控加工[D];浙江大學(xué);2016年

2 蔡乃旋;大鼠肝再生過程中質(zhì)膜微區(qū)比較蛋白質(zhì)組研究[D];湖南師范大學(xué);2014年

3 魏莊;細(xì)胞膜脂質(zhì)微區(qū)研究及植物脂質(zhì)微區(qū)對(duì)病原真菌侵染的響應(yīng)[D];甘肅農(nóng)業(yè)大學(xué);2012年

4 趙海妍;微區(qū)限制下的ZnO融合生長(zhǎng)及性質(zhì)研究[D];北京交通大學(xué);2014年

5 蔣曉紅;納米結(jié)構(gòu)有序組裝體系的構(gòu)筑及微區(qū)電性質(zhì)研究[D];河南大學(xué);2002年

6 楊文佳;微束微區(qū)X熒光探針的優(yōu)化與標(biāo)定方法研究[D];成都理工大學(xué);2014年

7 趙曉玉;新型熒光探針di-4-ANEPPDHQ在擬南芥質(zhì)膜微區(qū)顯微成像和定量檢測(cè)中的應(yīng)用[D];北京林業(yè)大學(xué);2014年

8 楊雪嬌;基于LA-LIBS的超衍射限高空間分辨微區(qū)元素分析[D];華南理工大學(xué);2013年

，

本文編號(hào)：947381