本文關鍵詞：模糊PID控制的原子力顯微鏡仿真平臺

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【摘要】：為了在傳統(tǒng)PID控制的基礎上實現參數的實時在線調整,獲得更好的控制效果,進行了模糊PID控制的原子力顯微鏡仿真研究。運用歐拉-伯努利方程對幅度調制模式原子力顯微鏡(AM-AFM)的探針動態(tài)過程進行建模,并依據AM-AFM負反饋控制的系統(tǒng)模型,加入模糊PID控制模塊,建立了一套完整的AM-AFM系統(tǒng)仿真平臺。根據專家經驗并查找模糊規(guī)則手冊,建立了PID參數的模糊規(guī)則表,實現PID參數實時在線調整,實現了高品質的控制;同時,結合Ziegler-Nichols法離線調整出一組初值,并將此初值運用于模糊系統(tǒng)的模糊中心選擇,進一步提高了控制效果。運用仿真平臺對兩個典型樣品進行掃描仿真,檢驗了模糊PID的控制效果,表明模糊PID能顯著提高AM-AFM對表面起伏較大的樣品的成像質量。
【作者單位】： 北京航空航天大學儀器科學與光電工程學院;北京航空航天大學物理科學與核能工程學院;北京航空航天大學數學與系統(tǒng)科學學院;
【關鍵詞】： 模糊PID控制 歐拉-伯努利模型 Ziegler-Nichols法 AM-AFM仿真平臺
【基金】：國家自然科學基金項目(61371008) 北京市自然科學基金項目(4132038)
【分類號】：TH742;TP391.9
【正文快照】： 0引言原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)具有原子級成像能力,是納米技術研究的主要工具,其工作模式分為動態(tài)力模式和靜態(tài)力模式[1],幅度調制模式為動態(tài)力模式的一種,工作在幅度調制模式下的AFM又叫幅度調制原子力顯微鏡(AmplitudeModulation Atomic Force Microscope

【參考文獻】

中國期刊全文數據庫 前2條

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【共引文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 鄭宇;王月明;吳芳;毛杰;;底部框架—抗震墻結構在平穩(wěn)隨機干擾下的響應[J];四川建筑科學研究;2008年01期

2 郝婷s

本文編號：947135