本文關(guān)鍵詞：硅微靜電加速度計(jì)的支承剛度特性

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【摘要】：靜電加速度計(jì)通過降低帶寬和量程在空間微重力環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)極高的分辨率。設(shè)計(jì)了一種采用玻璃-硅-玻璃"三明治"結(jié)構(gòu)、平行六面體狀檢驗(yàn)質(zhì)量、體硅加工工藝的三軸硅微靜電加速度計(jì),推導(dǎo)并討論了靜電支承回路的典型剛度特性與控制參數(shù)之間的關(guān)系式。采用基于DSP的數(shù)字控制器,實(shí)現(xiàn)了敏感質(zhì)量的六自由度穩(wěn)定支承,在大氣環(huán)境下測(cè)試了靜電支承回路的主要性能。分析與測(cè)試結(jié)果表明,在支承系統(tǒng)頻帶內(nèi),支承剛度特性與控制器參數(shù)及氣膜阻尼系數(shù)密切相關(guān);同時(shí),改變預(yù)載電壓可以在較大范圍內(nèi)在線調(diào)整加速度計(jì)的量程和支承剛度等指標(biāo)。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系;北京航天控制儀器研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng) 微機(jī)械加速度計(jì) 空間靜電加速度計(jì) 靜電支承 支承剛度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(41074049,61374207) 高等學(xué)校博士點(diǎn)學(xué)科專項(xiàng)科研基金項(xiàng)目(20130002110031)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 在衛(wèi)星提供的微重力環(huán)境下,超低量程的靜電加速度計(jì)可充分發(fā)揮出其超高分辨的優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于測(cè)定引起衛(wèi)星軌道攝動(dòng)的非保守力、地球重力測(cè)量、衛(wèi)星無拖曳控制、空間基礎(chǔ)物理實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域[1]。傳統(tǒng)靜電加速度計(jì)采用精密機(jī)械加工手段制造,體積大,功耗高,造價(jià)昂貴,制約了其在微小

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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2 劉云峰;丁衡高;董景新;;靜電懸浮微機(jī)械加速度計(jì)設(shè)計(jì)[J];清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年02期

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 任杰;樊尚春;王路達(dá);;諧振式微機(jī)械加速度計(jì)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年04期

2 鄭旭東;曹學(xué)成;鄭陽(yáng)明;羅斯建;王躍林;金仲和;;一種電容式微機(jī)械加速度計(jì)的設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

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4 胡m，

本文編號(hào)：948232