本文關(guān)鍵詞：基于大位移柔性結(jié)構(gòu)的動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)及研究

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【摘要】：針對(duì)傅里葉紅外光譜儀系統(tǒng)對(duì)動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)高精度高帶寬的要求,采用平行簧片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)了一種動(dòng)鏡柔性支撐機(jī)構(gòu)。首先分析了平行簧片柔性結(jié)構(gòu)的特點(diǎn),通過(guò)理論分析給出了動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)依據(jù),采用有限元方法分析了機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和靜態(tài)響應(yīng),同時(shí)與兩桿移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了對(duì)比,結(jié)果表明結(jié)構(gòu)的一階固有頻率為244.79 Hz,系統(tǒng)位移為14 mm時(shí)產(chǎn)生的垂直于移動(dòng)方向的寄生位移為0.611μm,最大應(yīng)力值為131MPa,性能明顯優(yōu)于兩桿移動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)理論分析和有限元分析為該機(jī)構(gòu)的深入研究和實(shí)際應(yīng)用奠定了良好的基礎(chǔ)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 支撐機(jī)構(gòu) 簧片 寄生位移 固有頻率
【基金】：中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程國(guó)防科技創(chuàng)新重要方向項(xiàng)目(YYYJ-1122) 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所三期創(chuàng)新工程
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 0引言傅里葉紅外光譜儀通過(guò)動(dòng)鏡掃描機(jī)構(gòu)完成光譜干涉,動(dòng)鏡的速度均勻性決定干涉效果,雖然通過(guò)光補(bǔ)償方法、控制方法對(duì)系統(tǒng)中的動(dòng)鏡傾斜進(jìn)行補(bǔ)償,但是為了設(shè)計(jì)高精度和高分辨率的傅里葉紅外光譜儀系統(tǒng),設(shè)計(jì)高效的動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)依然非常重要[1-2]。合適的動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)具有固有頻

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