本文關(guān)鍵詞：光學非球面三坐標測量中的像散補償

  更多相關(guān)文章： 非球面檢測 三坐標測量儀 測頭半徑補償 像散補償

【摘要】：利用三坐標測量儀在光學非球面鏡研磨與粗拋階段進行面形檢測時,測量結(jié)果常由于補償程序不完善而出現(xiàn)像散誤差。本文分析了非球面三坐標測量得到的數(shù)據(jù),指出測量結(jié)果中出現(xiàn)像散誤差是測頭半徑補償不準確所致。然后,提出了一種離線數(shù)據(jù)處理方法對測量數(shù)據(jù)進行補償來消除像散誤差。該方法通過計算網(wǎng)格排列的測頭中心點行和列方向的切向量得出曲面上每個點的法向矢量;根據(jù)測頭半徑計算出測頭球心到接觸點的偏移量,從而實現(xiàn)三坐標測量儀的三維測頭半徑補償。球面樣板實驗顯示這種方法可以將該樣板測量中的像散峰谷值(PV)由4.921 9μm減小到0.065 2μm,基本消除了測量結(jié)果中的像散誤差,提高了三坐標測量結(jié)果的準確度。實驗結(jié)果驗證了提出的三維測頭半徑補償程序的有效性。
【作者單位】： 武漢理工大學材料科學與工程學院;中國科學院上海光學精密機械研究所強激光材料重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 非球面檢測 三坐標測量儀 測頭半徑補償 像散補償
【分類號】：TH74;TH721
【正文快照】： 1引言光學非球面元件在國防、空間光學等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛,人們對非球面光學加工工藝和檢測技術(shù)也提出了更高的要求。非球面輪廓測量法是通過三坐標測量儀或輪廓儀等測量設(shè)備獲得工件表面各點坐標值,進而分析得到非球面面形誤差[1]。坐標測量法是研磨與粗拋光階段檢測面形

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