本文關(guān)鍵詞：基于插值法波面擬合的球面光學(xué)元件檢測

  更多相關(guān)文章： 圖像處理 面形檢測 邊界處理 Multi-quadric函數(shù)插值

【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)在線自動化檢測球面光學(xué)鏡片的面形偏差,在已有的光學(xué)檢測系統(tǒng)基礎(chǔ)上,對光學(xué)檢測系統(tǒng)采集的干涉圖樣進(jìn)行圖像處理和波面擬合算法研究。首先對干涉圖樣預(yù)處理,再根據(jù)球面光學(xué)鏡片大多是圓形孔徑,對預(yù)處理后的干涉條紋通過最小二乘法擬合出干涉圖樣的圓邊界,確定數(shù)據(jù)取值邊界點(diǎn)的中心和半徑值;然后采用Multi-quadric函數(shù)插值法擬合出波面的面形輪廓,計(jì)算波面的峰谷偏差EPV值及均方根偏差ERMS值;最后用上述方法對Zygo干涉儀采集的干涉圖的處理結(jié)果與Zygo干涉儀測試結(jié)果進(jìn)行比較分析。結(jié)果表明:通過邊界處理可有效提高波面擬合精度,采用multi-quadric函數(shù)插值法擬合可以理想的還原出波面,且測量誤差與國標(biāo)相比能夠控制在0.2λ的誤差范圍內(nèi),與Zygo干涉儀檢測結(jié)果相比可以控制在0.03λ誤差范圍內(nèi),都能夠滿足球面光學(xué)鏡片在線檢測的精度要求。
【作者單位】： 福建師范大學(xué)光電與信息工程學(xué)院醫(yī)學(xué)光電科學(xué)與技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 圖像處理 面形檢測 邊界處理 Multi-quadric函數(shù)插值
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61275216)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 引言目前國內(nèi)外干涉儀如Zygo干涉儀、移相式數(shù)字波面激光干涉儀等對干涉圖樣進(jìn)行波面擬合采用的都是Zernike多項(xiàng)式擬合算法[1-2],但是直接影響擬合精度的Zernike多項(xiàng)式的階數(shù)較難確定[3],文獻(xiàn)[4]中則定性地說明了Zernike多項(xiàng)式邊界誤差對擬合結(jié)果存在影響,在文獻(xiàn)[5]中,采用對

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 ;Multi-quadric Equations Interpolation and Its Applications to the Establishment of Crustal Movement Speed Field[J];Geo-Spatial Information Science;2002年02期

2 馮婕;白瑜;邢廷文;;Zernike多項(xiàng)式波面擬合精度研究[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2011年02期

3 劉珂;周富強(qiáng);張廣軍;;半徑約束最小二乘圓擬合方法及其誤差分析[J];光電子·激光;2006年05期

4 曹天寧,白劍,孔燕波;CGQ-II車間數(shù)字干涉儀的幾種特殊檢測的應(yīng)用[J];光學(xué)技術(shù);2001年06期

5 張偉,劉劍峰,龍夫年,王治樂;基于Zernike多項(xiàng)式進(jìn)行波面擬合研究[J];光學(xué)技術(shù);2005年05期

6 徐德衍;淺談美國ZYGO公司印象[J];光學(xué)技術(shù);1996年03期

7 侯溪;伍凡;楊力;陳強(qiáng);;基于Zernike多項(xiàng)式波面擬合中邊界誤差的影響分析[J];紅外與激光工程;2006年S2期

8 袁群;高志山;李建欣;周宇軒;褚光;石敄;;斐索式紅外干涉儀研制和測試技術(shù)研究[J];中國激光;2011年08期

9 李艷;白玉峰;;Multi-Quadric函數(shù)與Gauss函數(shù)的插值比較[J];內(nèi)蒙古民族大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年04期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙梅;航空相機(jī)焦面信息檢測技術(shù)研究[J];半導(dǎo)體光電;2005年04期

2 熊邦書;雷，

本文編號：661666