本文關(guān)鍵詞：KDP晶體表面波紋度的分析與研究

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【摘要】：針對工藝參數(shù)對KDP晶體表面波紋度值的影響問題,基于二次通用回歸旋轉(zhuǎn)組合方法優(yōu)化KDP晶體單點(diǎn)金剛石飛刀切削工藝參數(shù)組合,采用單因素和多因素法分析各因素對表面波紋度的影響規(guī)律,并以此為基礎(chǔ)優(yōu)化工藝參數(shù),進(jìn)行KDP晶體切削實(shí)驗(yàn)。試驗(yàn)表明:各因素對表面波紋度的影響程度大小順序?yàn)?進(jìn)給量二次項(xiàng)、進(jìn)給量、轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)速與進(jìn)給量的交互作用。優(yōu)化出表面波紋度值最小時的加工工藝參數(shù)組合:刀具圓弧半徑為9mm;轉(zhuǎn)速為633r/min;進(jìn)給量為11.8μm/r;背吃刀量為21μm,利用此組工藝參數(shù)加工出KDP晶體的表面波紋度為0.02μm。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué);北京工研精機(jī)股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： KDP晶體 單點(diǎn)金剛石飛刀切削 二次通用回歸旋轉(zhuǎn)組合 波紋度 工藝參數(shù)
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)“特殊晶體材料單點(diǎn)金剛石飛刀切削超精密機(jī)床”(2011ZX04004-042)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言KDP(磷酸二氫鉀KH2PO4)晶體是一種性能優(yōu)良的非線性光學(xué)元件。目前,大口徑KDP晶體是唯一可用作慣性約束核聚變系統(tǒng)中高功率激光驅(qū)動裝置器的Pockels盒的光學(xué)晶體材料[1]。KDP晶體具有質(zhì)軟、易潮解、脆性高、各向異性、對溫度變化敏感和易開裂等一系列不利于加工的特點(diǎn),使

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