本文關(guān)鍵詞：二維零位光柵自動納米定位系統(tǒng)

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【摘要】：搭建了能夠在二維方向上實現(xiàn)納米級定位的二維自動定位系統(tǒng)。首先,加工了柵格間距為5μm的64×64編碼的透射式二維零位光柵;然后,分析設(shè)計了光柵系統(tǒng)光電轉(zhuǎn)換電路和數(shù)據(jù)控制電路,實現(xiàn)了系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集、顯示和運動控制等功能。在此基礎(chǔ)上搭建了基于二維零位光柵的納米定位系統(tǒng),并利用積分法實現(xiàn)了二維方向的自動定位。實驗結(jié)果表明,系統(tǒng)定位速度對透射光強分布具有很高的依賴性,系統(tǒng)一次定位的成功率與初始位置密切相關(guān)。若起始位置在以零位為中心,半徑為2.5μm圓形區(qū)域內(nèi),系統(tǒng)可實現(xiàn)納米量級定位對準;當起始位置在以零位為中心,5~200μm為半徑的圓環(huán)范圍內(nèi),自動定位可能存在盲點,但通過改變初始位置重新進行搜索,仍然能夠準確地實現(xiàn)納米定位。
【作者單位】： 中國科學技術(shù)大學精密機械與精密儀器系;
【關(guān)鍵詞】： 二維零位光柵 自動對準 定位算法 電路噪聲 精度分析
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.51275502,91223203) 國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項資助項目(No.2011YQ040136) 中國博士后科學基金資助項目(No.2012M511416,2012M521245) 中央高校基本科研業(yè)務費專項基金青年創(chuàng)新基金資助項目(No.KB2090090001)
【分類號】：TH74;TB383.1
【正文快照】： 1引言隨著科學技術(shù)不斷地向微尺度領(lǐng)域深入發(fā)展,高精度的定位和對準系統(tǒng)在科研和生產(chǎn)應用中發(fā)揮了越來越重要的作用[1]。航天技術(shù)、微電子工程、精密工程、計量科學與技術(shù)、光學與光電子工程、生物工程、納米科學與技術(shù)等領(lǐng)域迫切需要納米級的定位對準[2-3]。納米定位技術(shù)已成

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本文編號：645345