本文關(guān)鍵詞：徑向預(yù)緊力對反射鏡重力變形的補償作用

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)器件 表面變形 面形補償 預(yù)緊力 有限元方法

【摘要】：針對精密反射鏡的重力變形,提出了一種基于徑向預(yù)緊力的變形補償方法。以高數(shù)值孔徑(NA)投影光刻物鏡中的反射鏡為研究對象,建立了反射鏡的受力模型,定性分析了徑向預(yù)緊力對反射鏡重力變形的影響規(guī)律。利用有限元分析方法得到了在不同徑向預(yù)緊力作用下反射鏡的面形變化,通過數(shù)據(jù)擬合分析了徑向預(yù)緊力與面形誤差及其澤尼克系數(shù)之間的關(guān)系。分析結(jié)果表明:徑向預(yù)緊力主要影響反射鏡面形的球差項和三葉像差項;隨著徑向預(yù)緊力的增大,補償后的面形誤差呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢,當(dāng)徑向預(yù)緊力約為25 N時,由于重力導(dǎo)致的面形誤差由2.009 nm減小為0.462 nm,補償結(jié)果最優(yōu)。通過實驗測量了重力和預(yù)緊力作用下反射鏡的面形誤差,當(dāng)徑向預(yù)緊力為25 N時重力導(dǎo)致的反射鏡面形誤差減小了0.988 nm,從而驗證了分析過程和補償方法的正確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)器件 表面變形 面形補償 預(yù)緊力 有限元方法
【基金】：國家重大科技專項(2012ZX02701001-007)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言減小光學(xué)元件面形誤差是提高光機系統(tǒng)性能的重要途徑。光機系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的內(nèi)應(yīng)力是影響光學(xué)元件面形精度的關(guān)鍵因素,它的產(chǎn)生主要與裝配應(yīng)力和熱應(yīng)力(工作過程中由于溫度變化導(dǎo)致的)有關(guān)。合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計和裝配工藝設(shè)計是減小系統(tǒng)內(nèi)應(yīng)力的重要手段。為了減小裝配應(yīng)力和熱應(yīng)

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本文編號：623362