本文關(guān)鍵詞：徑向預(yù)緊力對(duì)反射鏡重力變形的補(bǔ)償作用

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)器件 表面變形 面形補(bǔ)償 預(yù)緊力 有限元方法

【摘要】：針對(duì)精密反射鏡的重力變形,提出了一種基于徑向預(yù)緊力的變形補(bǔ)償方法。以高數(shù)值孔徑(NA)投影光刻物鏡中的反射鏡為研究對(duì)象,建立了反射鏡的受力模型,定性分析了徑向預(yù)緊力對(duì)反射鏡重力變形的影響規(guī)律。利用有限元分析方法得到了在不同徑向預(yù)緊力作用下反射鏡的面形變化,通過(guò)數(shù)據(jù)擬合分析了徑向預(yù)緊力與面形誤差及其澤尼克系數(shù)之間的關(guān)系。分析結(jié)果表明:徑向預(yù)緊力主要影響反射鏡面形的球差項(xiàng)和三葉像差項(xiàng);隨著徑向預(yù)緊力的增大,補(bǔ)償后的面形誤差呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢(shì),當(dāng)徑向預(yù)緊力約為25 N時(shí),由于重力導(dǎo)致的面形誤差由2.009 nm減小為0.462 nm,補(bǔ)償結(jié)果最優(yōu)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量了重力和預(yù)緊力作用下反射鏡的面形誤差,當(dāng)徑向預(yù)緊力為25 N時(shí)重力導(dǎo)致的反射鏡面形誤差減小了0.988 nm,從而驗(yàn)證了分析過(guò)程和補(bǔ)償方法的正確性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)器件 表面變形 面形補(bǔ)償 預(yù)緊力 有限元方法
【基金】：國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)(2012ZX02701001-007)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言減小光學(xué)元件面形誤差是提高光機(jī)系統(tǒng)性能的重要途徑。光機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的內(nèi)應(yīng)力是影響光學(xué)元件面形精度的關(guān)鍵因素,它的產(chǎn)生主要與裝配應(yīng)力和熱應(yīng)力(工作過(guò)程中由于溫度變化導(dǎo)致的)有關(guān)。合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和裝配工藝設(shè)計(jì)是減小系統(tǒng)內(nèi)應(yīng)力的重要手段。為了減小裝配應(yīng)力和熱應(yīng)

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