本文關(guān)鍵詞：納米表面相互作用及振動測頭模型

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【摘要】：如何實現(xiàn)高精度的測量是現(xiàn)代制造業(yè)及微電子技術(shù)領(lǐng)域的熱點問題之一.基于微納米測頭的三坐標測量機是當前實現(xiàn)高精度測量的重要手段.隨著測量尺寸的減小,常用的納米/微納尺度的測頭與待測表面之間形成靜態(tài)接觸,其表面相互作用成為了影響其測量精度和可靠性的關(guān)鍵因素之一.本文基于一種觸發(fā)式振動測頭,研究了其動力學模型,并通過對測頭納米尺度表面相互作用的理論分析及數(shù)值模擬,確立了測頭振動參數(shù)與表面相互作用之間的關(guān)聯(lián).實驗研究表明,參數(shù)優(yōu)化后的諧振微納測頭能有效抑制表面作用帶來的干擾,提高測量精度.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 納米表面作用力 簡諧振動 接觸式測量 三維振動測頭
【基金】：國家自然科學基金(批準號:51275148;51205103)資助的課題~~
【分類號】：TH721
【正文快照】： 如何實現(xiàn)高精度的測量是現(xiàn)代制造業(yè)及微電子技術(shù)領(lǐng)域的熱點問題之一. 基于微納米測頭的三坐標測量機是當前實現(xiàn)高精度測量的重要手段. 隨著測量尺寸的減小, 常用的納米/微納尺度的測頭與待測表面之間形成靜態(tài)接觸, 其表面相互作用成為了影響其測量精度和可靠性的關(guān)鍵因素之一.

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本文編號：623565