本文關(guān)鍵詞：納米表面相互作用及振動(dòng)測(cè)頭模型

  更多相關(guān)文章： 納米表面作用力 簡(jiǎn)諧振動(dòng) 接觸式測(cè)量 三維振動(dòng)測(cè)頭

【摘要】：如何實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量是現(xiàn)代制造業(yè)及微電子技術(shù)領(lǐng)域的熱點(diǎn)問(wèn)題之一.基于微納米測(cè)頭的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是當(dāng)前實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的重要手段.隨著測(cè)量尺寸的減小,常用的納米/微納尺度的測(cè)頭與待測(cè)表面之間形成靜態(tài)接觸,其表面相互作用成為了影響其測(cè)量精度和可靠性的關(guān)鍵因素之一.本文基于一種觸發(fā)式振動(dòng)測(cè)頭,研究了其動(dòng)力學(xué)模型,并通過(guò)對(duì)測(cè)頭納米尺度表面相互作用的理論分析及數(shù)值模擬,確立了測(cè)頭振動(dòng)參數(shù)與表面相互作用之間的關(guān)聯(lián).實(shí)驗(yàn)研究表明,參數(shù)優(yōu)化后的諧振微納測(cè)頭能有效抑制表面作用帶來(lái)的干擾,提高測(cè)量精度.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 納米表面作用力 簡(jiǎn)諧振動(dòng) 接觸式測(cè)量 三維振動(dòng)測(cè)頭
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):51275148;51205103)資助的課題~~
【分類(lèi)號(hào)】：TH721
【正文快照】： 如何實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量是現(xiàn)代制造業(yè)及微電子技術(shù)領(lǐng)域的熱點(diǎn)問(wèn)題之一. 基于微納米測(cè)頭的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是當(dāng)前實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的重要手段. 隨著測(cè)量尺寸的減小, 常用的納米/微納尺度的測(cè)頭與待測(cè)表面之間形成靜態(tài)接觸, 其表面相互作用成為了影響其測(cè)量精度和可靠性的關(guān)鍵因素之一.

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本文編號(hào)：623565