本文關(guān)鍵詞：光柵橫向剪切干涉儀及其系統(tǒng)誤差分析

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【摘要】：在分析光柵橫向剪切干涉儀典型結(jié)構(gòu)及系統(tǒng)參數(shù)配置,給出其適用范圍的基礎(chǔ)上,系統(tǒng)研究了該干涉儀結(jié)構(gòu)最顯著的系統(tǒng)誤差:幾何光程誤差和探測(cè)器傾斜誤差。采用Zernike多項(xiàng)式給出波前重建前后系統(tǒng)誤差項(xiàng)的解析表達(dá)式;對(duì)其大小與被測(cè)數(shù)值孔徑(NA)、衍射光會(huì)聚點(diǎn)間距d、剪切率s之間的關(guān)系進(jìn)行了定量分析。幾何光程彗差和像散、探測(cè)器傾斜像散和離焦是剪切干涉差分波前中最主要的誤差項(xiàng),波前重建后主要導(dǎo)致幾何光程球差和彗差,探測(cè)器傾斜彗差。重建波前誤差隨著NA、d的增加而迅速增大,隨著s的減小而增大。特別是小剪切(s≤0.05)時(shí),波前重建對(duì)系統(tǒng)誤差有增益效應(yīng),重建波前的系統(tǒng)誤差值遠(yuǎn)大于差分波前。小剪切情況下,當(dāng)d2μm、NA0.1時(shí),重建波前誤差的均方根值遠(yuǎn)大于1nm。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 光柵橫向剪切干涉 系統(tǒng)誤差 Zernike多項(xiàng)式 光刻投影物鏡
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(60938003、61205102、61275207)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言剪切干涉儀是一種典型的干涉儀結(jié)構(gòu),具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、準(zhǔn)共光路、不需要標(biāo)準(zhǔn)參考元件等優(yōu)點(diǎn)[1-3]。光柵橫向剪切干涉儀是一種使用光柵作為0508006-1分光元件的剪切干涉儀,其在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,如光束準(zhǔn)直性檢測(cè)、光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量和光學(xué)元件表面面形檢測(cè)等[2]。

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：551042