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基于PSD的高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)研究

發(fā)布時(shí)間:2023-03-04 12:01
  為實(shí)現(xiàn)對(duì)古斯-漢欣位移的精確測(cè)量,設(shè)計(jì)了一個(gè)以一維PSD為核心的位移測(cè)量系統(tǒng)。根據(jù)PSD的原理和特性設(shè)計(jì)了后續(xù)的信號(hào)處理電路,STC89C52通過(guò)12位AD芯片TLC2578采集PSD輸出的位置信號(hào),經(jīng)過(guò)處理傳輸?shù)揭壕CD1602,再通過(guò)USB接口傳輸?shù)缴衔粰C(jī),以兩種方式進(jìn)行位移值顯示,從而完成測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)在中心的測(cè)量精度較高,邊緣的測(cè)量精度較低,測(cè)量誤差在±10μm內(nèi)。設(shè)計(jì)的系統(tǒng)不僅可用于對(duì)古斯-漢欣位移的測(cè)量,也可以用于其他微位移測(cè)量的實(shí)驗(yàn)中。

【文章頁(yè)數(shù)】:6 頁(yè)

【文章目錄】:
1 引言
2 PSD工作原理
3 位移測(cè)量系統(tǒng)
    3.1 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    3.2 運(yùn)算放大電路
    3.3 A/D轉(zhuǎn)換電路
    3.4 單片機(jī)及USB供電系統(tǒng)
    3.5 液晶顯示
4 軟件系統(tǒng)
5 實(shí)驗(yàn)及結(jié)果分析
6 結(jié)論



本文編號(hào):3754255

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