基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù),批量制備了一批高精度、小尺寸的電導(dǎo)率和溫度集成微納傳感器,經(jīng)測試,該傳感器芯片尺寸僅為12 mm×12 mm,溫度靈敏度為0. 063℃/Ω,三次重復(fù)標(biāo)定實驗的變異系數(shù)CV為0. 6%,顯示出良好的重復(fù)性。電導(dǎo)率傳感器(R²≥0. 999 99)和溫度傳感器(R²≥0. 999)均具有良好的線性度。隨機(jī)抽取一組傳感器進(jìn)行批量評估,電導(dǎo)池常數(shù)K的標(biāo)準(zhǔn)偏差為±0. 019 cm^-1,顯示出良好的一致性。該溫度電導(dǎo)率微納傳感器尺寸小、成本低、批量制備一致性高,適用于大規(guī)模的海洋環(huán)境參數(shù)測量需求。

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 測試原理
2 結(jié)構(gòu)設(shè)計和工藝制備
    2.1 微納傳感器芯片結(jié)構(gòu)
    2.2 制備工藝流程
3 實驗部分
    3.1 電導(dǎo)率標(biāo)定
    3.2 溫度標(biāo)定
4 結(jié)論



本文編號：3744540