針對(duì)新設(shè)計(jì)的等截面反射鏡橢圓壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)在固定物距（即反射鏡在光路中位置不變）的情況下,研究了實(shí)現(xiàn)大范圍像距調(diào)整（即樣品位置發(fā)生改變）時(shí)鏡面面形誤差等問(wèn)題。通過(guò)理論分析并借助有限元分析軟件計(jì)算等截面平面鏡壓彎至不同（反射點(diǎn)處像距不同）橢圓柱面時(shí)的理論斜率誤差,最后對(duì)橢圓壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)樣機(jī)進(jìn)行了實(shí)際壓彎測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果與計(jì)算分析均表明:保持物距、掠入射角不變,壓彎鏡面與理想橢圓柱面之間的斜率誤差會(huì)隨著像距的減小而增大,并且像距越小,鏡面斜率誤差的增加速度越大。實(shí)驗(yàn)測(cè)得在反射鏡面初始斜率誤差為0.397μrad的情況下,全部像距范圍（21.5～3.8 m）內(nèi)壓彎鏡面的實(shí)際斜率誤差在0.402～0.560μrad之間,重復(fù)精度為0.051μrad,均滿足上海光源光束線的設(shè)計(jì)要求。本文研究證明了使用等截面反射鏡壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)進(jìn)行橢圓柱面壓彎可以實(shí)現(xiàn)聚焦鏡工作像距在大范圍內(nèi)的連續(xù)調(diào)節(jié)。 

【文章來(lái)源】：中國(guó)光學(xué). 2020,13(04)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：9 頁(yè)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3347437