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基于千兆赫茲體聲波諧振器的生物微陣列制造方法研究

發(fā)布時間:2020-05-10 12:54
【摘要】:生物微陣列技術因為其高通量、多路復用、樣品消耗量低以及靈敏度高等獨特的優(yōu)勢,被廣泛地應用于生命科學及醫(yī)學檢測等領域。因此,如何快速、高效地制造出高質量的生物分子微陣列一直是人們關注的焦點。目前國內外主流的生物微陣列制造技術包括針尖打印、微印章技術、電噴墨印刷以及光刻等。這些方法雖然有些已經成功商品化,但仍然有一些缺點,例如針尖易損耗、噴嘴易堵塞、使用成本高、生物兼容性差等。微陣列制造需滿足四個關鍵點:(1)微陣列的點應具有很好的均勻性和形貌;(2)微陣列各點的大小能夠保持均一;(3)制造過程中能夠很好地保留生物材料的活性;(4)制造成本低、制造過程簡單、易于操作。本文提出了一種基于千兆赫茲體聲波諧振器的微陣列制造新方法。我們利用微機電系統(tǒng)(Micro-electromechanical system,MEMS)工藝設計并制造了諧振頻率為2.45GHz的固體裝配型薄膜體聲波諧振器(Solidly mounted film bulk acoustic wave resonator,SMR)。通過對SMR施加一定的功率激發(fā)其聲流效應,并將其應用于液體的驅動,使液體表面產生形變,形成一個微米尺度的液體尖峰。然后通過精密位移臺控制液體尖峰與基底表面的接觸,以及基底的水平移動,從而實現(xiàn)生物微陣列的制造。與傳統(tǒng)的微陣列制造方法相比,我們提出的這種方法不需要針尖或者噴嘴,因而避免了因使用針尖或者噴嘴而帶來的各種問題。在微陣列質量方面,通過這種方法制造出的微陣列具有很好的均勻性和形貌以及很低的變異系數。另外,微陣列點的大小可以被很好地調控,且最小直徑低至8μm(對應液滴的體積為飛升(fL)級)。本文所提出的這種基于聲學諧振器的微陣列制造方法具有低成本、方便使用、生物兼容性好等優(yōu)點。除此之外,因為本文中制造SMR的工藝是與CMOS工藝相兼容的,因此可以很容易地對SMR進行大規(guī)模集成,從而實現(xiàn)更加快速、高效的高通量微陣列制造。
【圖文】:

矩陣圖,移液管,抗體,矩陣


1en Chang 在 1983 年用微型移液管制始嶄露頭角的是“基因芯片”(法(如:RNA 印記法或差別顯上限制了人們對基因以及細胞內學的 Ron Davis 和 Pat Brown 等監(jiān)測基因表達的文章[4]。他們A 的微陣列,并將其用于相應非常小,所以其密度非常高,文章被認為是該年度最有影響力包括 Affymetrix、Arrayjet、Il微陣列成為微陣列技術中最為復

微全分析系統(tǒng),維恩圖,領域,微陣列


第 1 章 緒論與“DNA 芯片”這兩個名詞經常被混用。的基因芯片(即 DNA 微陣列)擴展至蛋白、納米粒子[17]等各類生物化學材料。微陣列路徑映射、疾病診斷、蛋白間相互作用分析和免疫分析等工具的開發(fā)[18],其研究領域也,,乃至整個生命科學領域。圖 1-2 是生物 M及微全分析系統(tǒng)(μTAS)三大領域的維恩域內都有著重要的作用。
【學位授予單位】:天津大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2017
【分類號】:TH77

【參考文獻】

相關期刊論文 前3條

1 姚海根;;噴墨印刷的技術特點與發(fā)展之路(下)[J];印刷雜志;2013年04期

2 魏慶娟;閆永楠;孔波;秦玉華;;微陣列技術的應用及發(fā)展趨勢[J];東北電力大學學報(自然科學版);2008年06期

3 劉連新,王秀琴,吳e

本文編號:2657331


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