【摘要】：采用粗精兩級驅動的方式設計了大行程納米級三維精密位移系統(tǒng)。位移系統(tǒng)的粗驅動通過采用PID自適應控制器控制伺服電機加精密絲杠拖動一維工作臺來完成,位移系統(tǒng)的精驅動通過層疊型的壓電陶瓷位移器(PZT)來完成。采用程序控制法實現(xiàn)μm級和nm級兩級驅動的匹配。設計了基于邁克爾遜干涉原理的可溯源的計量系統(tǒng),兩級驅動的定位檢測都由該計量系統(tǒng)來檢測,減小了累積誤差,并運用實驗驗證了位移系統(tǒng)的有效性。

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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【相似文獻】

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本文編號：2557040