【摘要】：提出了一種三軸高g的壓阻式微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)方法.通過理論推導(dǎo)和計(jì)算,分析了模型的應(yīng)力和頻率,得到了具有較高頻率的高g微加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)參數(shù).通過有限元軟件ANSYS分析確定了在獲得高輸出電壓條件下的電阻布置方案.在此基礎(chǔ)上,對(duì)三軸進(jìn)行了200 000 g載荷下的性能研究,結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的微加速度計(jì)具有較高的靈敏度和線性度.
[Abstract]:A design method of three axis high g piezoresistive micro accelerometer is presented. By theoretical derivation and calculation, the stress and frequency of the model are analyzed, and the structural parameters of the high g microaccelerometer with higher frequency are obtained. Through the finite element software ANSYS analysis, the resistance arrangement scheme under the condition of obtaining high output voltage is determined. On the basis of this, the performance of the micro-accelerometer under the triaxial load of 200000 g is studied. The results show that the designed micro-accelerometer has high sensitivity and linearity.
【作者單位】： 廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院;廈門大學(xué)物理與機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：航空基金(2008ZH68002) 教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃(2007NCET-07-0723)
【分類號(hào)】：TP212.9;TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2384044